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尹睿

作品数：5 被引量：3H指数：1
供职机构：河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所更多>>
发文基金：河北省自然科学基金天津市自然科学基金更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

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河北工业大学信息工程学院微电子技术与材料研究所
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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河北工业大学
研究主题：数值模拟 性能研究 机器人 大学生 高校
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