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于海涛

作品数：67 被引量：36H指数：5
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金中国科学院知识创新工程重要方向项目更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信理学一般工业技术更多>>

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中国科学院上海微系统与信息技术研究所
研究主题：相变存储器 衬底 石墨烯 相变 电极
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室
研究主题：传感器 MEMS 微流控芯片 微机电系统 加速度计
发表作品相关人物相关机构所获资助研究领域
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