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张保敬

作品数：11 被引量：67H指数：4
供职机构：河北工业大学电子信息工程学院更多>>
发文基金：教育部人文社会科学研究基金河北省教育厅人文社会科学研究项目河北省社会科学发展研究课题更多>>
相关领域：文化科学电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺更多>>

合作作者

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河北工业大学电子信息工程学院
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河北工业大学
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河北工业大学信息工程学院
研究主题：CMP 化学机械抛光 抛光液 去除速率 ULSI
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