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何秀坤
作品数:
2
被引量:4
H指数:1
供职机构:
信息产业部电子第四十六研究所
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相关领域:
电子电信
理学
自动化与计算机技术
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合作作者
李静
信息产业部电子第四十六研究所
李光平
信息产业部电子第四十六研究所
李光平
信息产业部电子第四十六研究所
王良
信息产业部电子第四十六研究所
汝琼娜
信息产业部电子第四十六研究所
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李静
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2001
1篇
2000
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SI-GaAs晶片的PL mapping表征技术
被引量:4
2000年
研究了扫描光致发光光谱 (PLmapping)在表征半绝缘砷化镓 (SI GaAs)材料中的应用 ,实验结果表明SI GaAs晶片的PL强度及mapping均匀性对器件性能有着十分密切的关系 ,所以在为制备器件筛选优质的SI GaAS材料时 ,除了电阻率、迁移率、位错密度、碳含量、EL2浓度及其均匀性、晶片表面质量外 ,PLmapping也是表征材料质量的一个重要参数。
李光平
汝琼娜
李静
何秀坤
王寿寅
陈祖祥
关键词:
光致发光光谱
半绝缘砷化镓
实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量系统
2001年
实用型硅单晶中氧、碳含量自动测量分析软件是WQF系列傅立叶变换红外光谱仪的中文显示专用软件,主要用于硅单晶(直拉硅、区熔硅)中氧、碳含量测量。
李光平
李静
王良
汝琼娜
何秀坤
武惠忠
杨学军
关键词:
氧
碳
傅里叶变换红外光谱
硅单晶
自动测量系统
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