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一种新结构硅微机械压阻加速度计被引量：13: 2005年; 设计、制造并测试了一种新结构硅微机械压阻加速度计。器件结构是悬臂梁-质量块结构的一种变形。比较硬的主悬臂梁提供了一定的机械强度,并且提供了高谐振频率。微梁很细,检测时微梁沿轴向直拉直压。力敏电阻就扩散在微梁上,质量块很小的挠动就能在微梁上产生很大的应力,输出很大的信号。5 V条件下,灵敏度为14.80 mV/g,谐振频率为994Hz,分别是传统结构压阻加速度计的2.487倍和2.485倍。加速度计用普通的N型硅片制造,为了刻蚀高深宽比的结构,使用了深反应离子刻蚀(DRIE)工艺。; 陈雪萌李昕欣宋朝晖王跃林黄晖黄树森张鲲; 关键词：微机械加速度计压阻深反应离子刻蚀

一种微机械压阻式加速度传感器及其设计优化: 给出了一种新型的微梁直拉直压的微机械压阻式加速度传感器的工作原理.该设计能同时提高传感器的灵敏度和自由振动频率.基于分析模型,本文还给出了传感器的结构优化和各种量程的设计规则.采用SOI硅片和深反应离子刻蚀(DRIE)工...; 黄树森郭南翔黄晖宋朝辉李欣昕王跃林; 关键词：加速度传感器结构优化振动频率深反应离子刻蚀; 文献传递

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黄晖