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张丽华

作品数：1 被引量：8H指数：1
供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇真空度
  • 1篇真空度检测
  • 1篇真空封口
  • 1篇品质因数
  • 1篇陀螺
  • 1篇陀螺仪
  • 1篇微机械陀螺
  • 1篇微机械陀螺仪
  • 1篇封口
  • 1篇封装
  • 1篇MEMS封装

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇邵崇俭
  • 1篇李军
  • 1篇张丽华

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2003
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MEMS封装中真空封口及真空度检测技术被引量：8
2003年
通过对MEMS封装技术进行研究攻关 ,突破了针对微机械陀螺仪器件性能发挥所需的真空封口技术及真空度检测技术 ,使器件品质因数提高将近
张丽华李军邵崇俭
关键词：封装真空封口真空度检测微机械陀螺仪品质因数
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共1页<1>
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