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杨英花
作品数:
2
被引量:3
H指数:1
供职机构:
大连理工大学电子科学与技术学院
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相关领域:
电子电信
自动化与计算机技术
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合作作者
李中洲
大连理工大学电子科学与技术学院
余隽
大连理工大学电子科学与技术学院
吴昊
大连理工大学电子科学与技术学院
唐祯安
大连理工大学电子科学与技术学院
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氧化锡气敏薄膜的喷墨打印技术研究
喷墨打印技术与其它淀积气敏薄膜方法相比具有无掩膜图形化、室温加工、方便操作等优点.本文利用喷墨打印技术在微热板气体传感器上打印SnO2多孔薄膜.根据打印机的定位精度和微热板的悬空结构尺寸设计了打印图形,根据目标厚度确定打...
杨英花
余隽
吴昊
李中洲
唐祯安
关键词:
喷墨打印
气体传感器
微热板
气敏薄膜
氧化锡气敏薄膜的喷墨打印技术研究
被引量:3
2017年
喷墨打印技术具有无需掩膜图形化、室温加工、方便操作等优点。利用喷墨打印技术在微热板上打印SnO_2多孔薄膜。根据打印机的定位精度和微热板的悬空尺寸设计了打印图形,根据目标厚度确定打印层数,以及打印后的干燥工艺参数;通过扫描电镜对薄膜结构进行微观表征,敏感薄膜表面平整,成膜均匀;最后对其进行气敏测试,当微热板工作在250℃时,打印的SnO_2气敏薄膜对乙醇有良好的响应,检测到最低乙醇浓度为0.5×10^(-6),响应和恢复时间均在3 s左右。
杨英花
余隽
吴昊
李中洲
唐祯安
关键词:
喷墨打印
气体传感器
微热板
气敏薄膜
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