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王丽江

作品数：2 被引量：1H指数：1
供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
相关领域：机械工程电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程
  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇动平衡
  • 1篇甩干机
  • 1篇转速
  • 1篇转子
  • 1篇转子动力
  • 1篇转子动力学
  • 1篇橡胶减振器
  • 1篇临界转速
  • 1篇回转件
  • 1篇减振
  • 1篇减振器
  • 1篇隔振
  • 1篇惯性主轴
  • 1篇半导体
  • 1篇半导体设备

机构

  • 2篇中国电子科技...

作者

  • 2篇王丽江
  • 1篇王文丽
  • 1篇张伟锋

传媒

  • 2篇电子工业专用...

年份

  • 2篇2018
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
半导体设备回转件设计中的动力学问题探究
2018年
半导体设备回转构件不平衡引起的振动直接制约着设备的加工精度及可靠性。研究回转构件转子动力学所涉及的系统受迫振动、转子临界转速和惯性主轴等问题,为刚性转子设计寻找理论依据;再通过刚性转子平衡理论,对比动平衡机平衡及现场动平衡,为半导体回转构件动平衡寻找经济可行的平衡方法。
王勇威王文丽黄鑫亮胡天水王丽江
关键词：转子动力学惯性主轴临界转速动平衡
甩干机隔振系统设计及实验研究被引量：1
2018年
甩干机是半导体加工工艺中的关键设备,在甩干机高速运行过程中,由于转子系统的偏心所产生的离心力将导致设备振动。为将振源隔离,提高设备可靠性,对整机的振动情况和振动传递路径进行了分析,再通过分析隔振理论及橡胶减振器的性能特征,最后为某型甩干机选取合理的橡胶减振器参数;通过实验测试表明其隔振效果达到了预期要求。
王勇威张伟锋刘盈楹胡天水王丽江
关键词：甩干机隔振橡胶减振器
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