王文丽
- 作品数：5 被引量：1H指数：1
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
- 相关领域：电子电信石油与天然气工程更多>>
- 超声波硅片清洗系统的研制
- 2015年
- 分析自动超声波硅片清洗机设备的整个系统组成和器件的选型及维护。
- 夏楠君王文丽
- 关键词：超声波清洗机可编程逻辑控制器电控系统机械手
- 基于Fluent的半导体湿法腐蚀过程中的废气排放流场研究
- 2018年
- 湿法腐蚀清洗设备湿区对洁净度有严格要求,流场分布对其影响很大,通过Fluent对湿区的流场进行分析,建立流场数值模型和几何模型并对流场进行数值计算;改变槽体化学槽气体溢出的速度和排风出口的压强分析流场特性;计算3种排风出口几何模型并分析对湿区流场的影响。
- 李燕玲黄鑫亮王勇威郭立刚王文丽夏楠君
- 关键词：流场分析
- 湿法清洗中兆声波清洗工艺与应用被引量：1
- 2015年
- 简述了兆声波清洗工艺的原理、特点,介绍其在清洗设备中的应用与前景。
- 王文丽夏楠君陈仲武
- 关键词：超声波硅片清洗工艺
- 全自动化学抛光机系统设计
- 2021年
- 针对碲锌镉晶片的化学抛光处理工艺需求,按照全自动工艺处理要求,设计了一套全自动化学抛光设备,实现了自动上下料、自动抛光、自动清洗吹干等工艺步骤,并介绍了全自动化学抛光设备的系统设计及实现。
- 薛书亮张博赵永进王文丽潘峰陈威
- 关键词：系统设计
- 半导体设备回转件设计中的动力学问题探究
- 2018年
- 半导体设备回转构件不平衡引起的振动直接制约着设备的加工精度及可靠性。研究回转构件转子动力学所涉及的系统受迫振动、转子临界转速和惯性主轴等问题,为刚性转子设计寻找理论依据;再通过刚性转子平衡理论,对比动平衡机平衡及现场动平衡,为半导体回转构件动平衡寻找经济可行的平衡方法。
- 王勇威王文丽黄鑫亮胡天水王丽江
- 关键词：转子动力学惯性主轴临界转速动平衡
