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吴航

作品数：12 被引量：0H指数：0
供职机构：杭州士兰集成电路有限公司更多>>

合作作者

文献类型

  • 12篇中文专利

主题

  • 4篇真空
  • 3篇通路
  • 3篇抓取
  • 3篇芯片
  • 3篇减薄
  • 3篇硅片
  • 2篇载物台
  • 2篇沾污
  • 2篇真空泵
  • 2篇接通
  • 1篇刀台
  • 1篇电路
  • 1篇电压利用率
  • 1篇信号
  • 1篇液环真空泵
  • 1篇真空管道
  • 1篇直流电
  • 1篇直流电压
  • 1篇直流电压利用...
  • 1篇砂轮

机构

  • 12篇杭州士兰集成...

作者

  • 12篇吴航
  • 6篇张新泉
  • 5篇张军
  • 3篇刘鹏
  • 3篇李影

年份

  • 4篇2019
  • 4篇2018
  • 3篇2017
  • 1篇2016
共 12 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
磨床高度规校准工具及磨床
本实用新型公开了一种磨床高度规校准工具及磨床，所述磨床包括主轴，在所述主轴的端部设置有装刀台，在所述装刀台的下侧设置有砂轮，所述砂轮通过紧固件固定在所述装刀台上，所述校准工具包括校准部和与所述校准部相连接的固定部，所述固...
李志伟吴航
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定位结构及硅片加工设备
公开了一种定位结构及硅片加工设备，主要解决现有技术中存在的定位结构通用性差的问题。该定位结构包括：载物台；真空通路，用于将待定位件吸附于所述载物台表面，所述真空通路包括相互隔开设置的至少两个真空通路单元；连接通路，将所述...
吴航张新泉张军李影
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定位结构及硅片加工设备
公开了一种定位结构及硅片加工设备，主要解决现有技术中存在的定位结构通用性差的问题。该定位结构包括：载物台；真空通路，用于将待定位件吸附于所述载物台表面，所述真空通路包括相互隔开设置的至少两个真空通路单元；连接通路，将所述...
吴航张新泉张军李影
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芯片抓取结构
1．本外观设计产品的名称：芯片抓取结构。;2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于抓取芯片。;3．本外观设计产品的设计要点：产品的整体形状。;4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。
李志伟吴航陈聪
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抽真空系统
公开了一种抽真空系统。所述抽真空系统包括：储液箱、液环真空泵、以及加液系统，其中，所述液环真空泵包括工作液入口和工作液出口，所述工作液入口和所述工作液出口分别与所述储液箱连接，所述加液系统设置在所述储液箱上，用于向所述储...
张新泉吴航张军刘鹏
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吸盘安装结构及芯片抓取结构
本实用新型提供一种吸盘安装结构及芯片抓取结构。吸盘安装结构用于将吸盘安装于基体上，安装结构包括调节件和安装部，吸盘通过安装部与基体相连，调节件与安装部连接，且调节件抵靠在基体上，或者，调节件与基体连接，且调节件抵靠在安装...
李志伟吴航刘鹏
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定位结构以及晶片加工设备
公开了一种定位结构及晶片加工设备，晶片加工设备通过该定位结构对晶片进行定位。其中定位结构包括：底座；第一透气陶瓷层，位于所述底座上；以及真空通路，位于所述底座内，用于将待定位件吸附于所述第一透气陶瓷层表面，其中，所述第一...
吴航张海东张新泉陈聪
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芯片抓取结构及芯片加工设备
本实用新型提供一种芯片抓取结构及芯片加工设备。该芯片抓取结构包括用于抓取所述芯片的本体以及向所述芯片的表面喷射流体的流体喷口，所述流体喷口设置有多个，多个所述流体喷口沿所述本体的周向分布。本实用新型提供的芯片抓取结构在本...
李志伟吴航陈聪
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减薄机吸盘结构
本实用新型公开了一种减薄机吸盘结构，用于固定硅片，包括基体和吸附部，所述吸附部设置在所述基体上，所述基体的第一面上设置有第一安装槽，所述吸附部的一部分嵌入到所述第一安装槽内，所述吸附部位于所述第一安装槽外侧的部分上形成有...
吴航封国齐刘鹏李志伟
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定位结构及硅片加工设备
公开了一种定位结构及硅片加工设备，主要解决现有技术中存在的定位结构通用性差的问题。该定位结构包括：载物台；真空通路，用于将待定位件吸附于所述载物台表面，所述真空通路包括相互隔开设置的至少两个真空通路单元；连接通路，将所述...
吴航张新泉张军李影
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