陈海鑫
- 作品数:3 被引量:5H指数:2
- 供职机构:信息产业部电子第五研究所更多>>
- 发文基金:广东省自然科学基金更多>>
- 相关领域:电子电信一般工业技术更多>>
- 内部气氛含量分析环境下本底材料放气率研究
- 2024年
- 气密封装器件的内部气氛含量分析中,设备本底材料放气率是影响分析准确性的重要因素。采用静态升压法,对5种真空设备主要材料在3种典型温度和抽气时间下的放气率进行了深入研究。研究表明,相同条件下304不锈钢、430不锈钢和钛材料的放气率均低于碳素钢和高纯铝,且同种材料在高温环境下的放气率随测试时间增加而增大。最后,基于材料成型等因素,建议选用304不锈钢和430不锈钢作为内部气氛含量分析的腔体环境使用材料,并给出了有效降低本底放气率的措施。
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- 关键词:放气率
- 光电耦合器内部气氛长期贮存变化的研究被引量:2
- 2016年
- 根据气密封装器件的内部气体流动原理,对光电耦合器内部气氛含量的初始状态进行了分析,对长期贮存的变化状态进行了预测,随后采用内部气氛分析仪验证预测结果,证明了气体流量原理能够有效预测光电耦合器封装内部的气氛含量,并且能够将封装工艺的薄弱环节暴露在检测初始阶段。通过分析测量漏率与真实漏率之间的关系,对提高预测光电耦合器内部气氛含量长期贮存变化的准确性提出了建议。
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- 关键词:光电耦合器
- 0.01cc小腔体气密封器件内部气氛含量测试方法研究被引量:3
- 2018年
- 根据气密封器件内部气氛含量的测试原理,从0.01cc小腔体气密封器件内部气氛含量测试的取样、校准及夹具等方面分析造成0.01cc(1 cc=1 cm3)小腔体气密封器件内部气氛含量测试结果误差的主要因素,其中夹具的结构设计是造成误差的最大影响因素。随后从缩小测试夹具腔体的密封范围、减少穿刺后的内部气氛向外扩散、提高0.01cc小腔体内部气氛进入设备分析室的浓度等方面对夹具优化设计。最后采取同批次型号的0.01cc小腔体器件进行新旧夹具分组比对分析,从测试数据的离散性、设备的端口气氛浓度数据分析可见,经过优化的夹具能够有效提高0.01cc小腔体气密封器件内部气氛含量测试的准确性。这一改进途径也可为提高其他气密封器件内部气氛含量检测的可行性及准确性提供思路。
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- 关键词:误差分析气密性封装夹具设计