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段辉高

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇电子束曝光
  • 1篇微细
  • 1篇微细加工

机构

  • 1篇中国科学院

作者

  • 1篇韩立
  • 1篇薛虹
  • 1篇魏淑华
  • 1篇宋志
  • 1篇段辉高

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
三维微结构制作现状与进展被引量：2
2008年
随着微机电系统(MEMS)的深入研究和快速发展,三维微细加工技术对于微机电的开发和生产具有非常重要的意义。详细介绍了现阶段三维微结构各种制作方法和工艺技术,分析了其原理和特点,比较了各种方法的优劣;讨论了三维微结构开发现状及有待解决的关键技术,综述了利用电子束曝光技术进行三维微结构制作的应用现状并指出了其发展前景。
宋志魏淑华段辉高薛虹韩立
关键词：微细加工电子束曝光
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