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薛虹

作品数：48 被引量：21H指数：3
供职机构：中国科学院电工研究所更多>>
发文基金：国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术电气工程机械工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 26篇期刊文章
  • 9篇专利
  • 8篇会议论文
  • 5篇科技成果

领域

  • 26篇电子电信
  • 8篇自动化与计算...
  • 3篇电气工程
  • 2篇金属学及工艺
  • 2篇机械工程
  • 1篇医药卫生
  • 1篇一般工业技术
  • 1篇理学

主题

  • 24篇电子束曝光
  • 21篇曝光机
  • 16篇电子束曝光机
  • 10篇图形发生器
  • 8篇电子束
  • 6篇信号
  • 5篇扫描电子显微...
  • 5篇DSP
  • 4篇信号处理
  • 4篇信号处理器
  • 4篇数字信号
  • 4篇数字信号处理
  • 4篇数字信号处理...
  • 4篇退火
  • 4篇退火时间
  • 4篇硼化镁
  • 4篇激光干涉
  • 4篇激光干涉仪
  • 4篇光干涉仪
  • 4篇二硼化镁

机构

  • 47篇中国科学院
  • 4篇中国科学院研...
  • 3篇中国科学院大...
  • 1篇北京大学

作者

  • 48篇薛虹
  • 18篇韩立
  • 16篇方光荣
  • 11篇初明璋
  • 10篇殷伯华
  • 10篇顾文琪
  • 8篇张福安
  • 8篇刘俊标
  • 6篇孔祥东
  • 5篇唐晖
  • 5篇靳鹏云
  • 4篇张今朝
  • 4篇林滢
  • 4篇商涛
  • 4篇李建国
  • 3篇王理明
  • 3篇张鹏
  • 3篇林云生
  • 3篇李勇滔
  • 3篇刘浩

传媒

  • 11篇微细加工技术
  • 5篇现代科学仪器
  • 3篇第十二届全国...
  • 2篇电子工业专用...
  • 2篇纳米技术与精...
  • 2篇第二届全国电...
  • 1篇半导体技术
  • 1篇组合机床与自...
  • 1篇仪表技术与传...
  • 1篇微计算机信息
  • 1篇航空精密制造...
  • 1篇真空科学与技...
  • 1篇第十三届全国...
  • 1篇第十一届全国...
  • 1篇第九届全国电...

年份

  • 1篇2016
  • 2篇2015
  • 3篇2014
  • 1篇2013
  • 4篇2012
  • 3篇2011
  • 2篇2010
  • 4篇2009
  • 2篇2008
  • 2篇2007
  • 1篇2006
  • 3篇2005
  • 4篇2004
  • 4篇2003
  • 3篇2002
  • 1篇2001
  • 2篇2000
  • 2篇1999
  • 3篇1997
  • 1篇1996
共 48 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
实用化电子束曝光机的真空系统
本文简述了实用化电子束曝光机真空系统设计要求、系统组成、真空自动控制及设备所达到的真空指标.
薛虹顾文琪刘俊标初明璋唐晖徐彧
关键词：电子束曝光自动控制真空系统
文献传递
基于DSP-FPGA高速控制系统的应用研究
2014年
为了满足应用对控制系统高速高精度的要求，本文将原子力显微镜作为控制对象，主要研究基于DSP—FPGA控制系统设计中的关键技术问题。包括各模块的功能划分、模块间通讯模式设计并以单行扫描为例进行编程说明。随后将PID算法嵌入FPGA，对大范围快速原子力显微镜的单点测试做闭环反馈控制。实验结果显示，与以PCI04为核心的控制系统相比，基于DSP—FPGA的控制系统大大提高了大范围快速原子力显微镜的扫描速度和控制精度。
邓卫梅陈代谢殷伯华薛虹韩立
基于SEM的纳米级电子束曝光机系统设计
本文主要介绍基于扫描电子显微镜(SEM)纳米级实用化电子束曝光机系统的研究内容、主要技术指标及曝光工艺实验的结果.
顾文琪薛虹韩立刘俊标初明璋
关键词：电子束曝光机系统设计扫描电子显微镜
文献传递
基于DSP新型图形发生器模数转换器的设计
2004年
介绍了一种电子束曝光机图形发生器模数转换器的设计方案,该设计方案以ADI公司的模数转换芯片AD9223为核心,根据电子束曝光机背散射信号的特点,设计了合理的前端放大器和驱动电路及基准源。这样,提供了与DSP的无缝接口并提高了转换速度。该模数转换器可用于电子束和离子束曝光机中的图形发生器采集标记数据和图像数据信息,同时也可用于原子力显微镜采集图像数据信息。
袁修鹏薛虹方光荣
关键词：模数转换器图形发生器仪表放大器
基于DSP图形发生器曝光算法的研究
2004年
新型图形发生器使用DSP控制曝光过程,因此要求DSP程序高效地控制电子束实现图形的高精度扫描。而以往的算法(包括Bresenham算法)无法满足电子束扫描的特殊性,因此提出一种DSP实现曝光的算法。分析了Bresenham算法的缺陷,同时对提出的新算法进行工作效率的理论分析和曝光数据的采集对比,结果证明该算法是一种能够保证精度和效率的算法。同时还探讨了斜矩形不分割的曝光算法。
杨浩伟张今朝薛虹
关键词：图形发生器DSPBRESENHAM算法
电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的方法
一种电子束退火制备二硼化镁超导薄膜的方法，该方法采用电子束在真空中对二硼化镁先驱膜进行退火，在秒数量级的退火时间内使先驱膜中的镁、硼单质发生化学反应最终生成二硼化镁超导薄膜。退火时电子束参数和退火时间依据不同的前驱膜厚度...
孔祥东韩立薛虹初明璋李建国林云生方光荣
文献传递
电子束缩小投影成像曝光系统研究
顾文琪张福安方光荣薛虹靳鹏云彭开武张今朝唐晖初明璋吴桂君王理明
该项目通过对电子束缩小投影成像曝光系统的关键技术及相关部件的研究，探索纳米级缩小投影成像曝光、散射型掩模制备及角度限制机理和高精度对准定位等核心技术。项目组制定了详细又切合实际的总体方案和合理可行的技术路线。为加快研究进...
关键词：
ＤＹ－７型深亚微米电子束曝光系统的研究
主要介绍深亚微米电子束曝光机的实验研究及各种部件性能指标，并重点论述偏转器的优化设计。
王理明张福安薛虹顾文琪
关键词：电子束曝光机偏转器
文献传递网络资源链接
0.1微米电子束曝光实验装置的实用化研究
本文主要论述0.1微米电子束曝光机实用化研究的内容.简介系统的组成及达到的主要性能指标.
薛虹顾文琪张福安课敏唐晖张今朝
关键词：电子束曝光机性能指标系统组成
文献传递
0.1微米电子束曝光实验装置的研制
顾文琪张福安王理明薛虹潭敏唐晖陈志琪安秉谦张今朝王启祥卢维美王岩红
“0.1微米电子束曝光及实验装置的研制”是中国科学院“九五”应用研究与发展重大项目。该装置也是我国第一台自行研制的0.1微米电子束曝光机。微电子光刻设备是制造大规模集成电路的先导和基础。在众多的微电子设备中，以电子束...
关键词：
关键词：电子束曝光机光刻技术
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