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张绵

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：河北半导体研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻工艺
  • 1篇荷电
  • 1篇二次电子

机构

  • 1篇河北半导体研...

作者

  • 1篇付兴昌
  • 1篇李保第
  • 1篇刘福庆
  • 1篇张绵

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
扫描电子显微镜在栅光刻工艺中的应用
2008年
阐述了扫描电子显微镜在解决栅光刻在线监测中遇到的问题和解决过程。在充分的理论分析基础上,通过大量实验研究,克服了光刻胶在高能电子辐照下变形、变性的问题;削弱了光刻胶样品表面荷电对图像质量的影响;在观测"T"型栅的胶窗口时采用特殊的工作条件获得了三层胶的立体形貌图像,从而能够观察三层胶的内部结构。上述问题的解决和技术的改进实现了栅光刻工艺的在线监测;并为栅光刻工艺的稳定和改进、产品成品率的提高提供了大量数据和图像。
李保第刘福庆付兴昌张绵
关键词：扫描电子显微镜二次电子荷电
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