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刘福庆

作品数：2 被引量：2H指数：1
供职机构：河北半导体研究所更多>>
相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇扫描电子显微...
  • 1篇统计过程
  • 1篇统计过程控制
  • 1篇控制图
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机辅助制...
  • 1篇光刻
  • 1篇光刻工艺
  • 1篇过程控制
  • 1篇荷电
  • 1篇二次电子
  • 1篇SPC
  • 1篇CAM

机构

  • 2篇河北半导体研...

作者

  • 2篇付兴昌
  • 2篇李保第
  • 2篇刘福庆
  • 1篇杨中月
  • 1篇崔玉兴
  • 1篇胡玲
  • 1篇张绵
  • 1篇李彦伟

传媒

  • 2篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2010
  • 1篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
扫描电子显微镜在栅光刻工艺中的应用
2008年
阐述了扫描电子显微镜在解决栅光刻在线监测中遇到的问题和解决过程。在充分的理论分析基础上,通过大量实验研究,克服了光刻胶在高能电子辐照下变形、变性的问题;削弱了光刻胶样品表面荷电对图像质量的影响;在观测"T"型栅的胶窗口时采用特殊的工作条件获得了三层胶的立体形貌图像,从而能够观察三层胶的内部结构。上述问题的解决和技术的改进实现了栅光刻工艺的在线监测;并为栅光刻工艺的稳定和改进、产品成品率的提高提供了大量数据和图像。
李保第刘福庆付兴昌张绵
关键词：扫描电子显微镜二次电子荷电
半导体工艺线CAM及SPC的应用被引量：2
2010年
探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法。作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序——WI系统,用于工艺的指导和记录、生产的安排和监控以及数据的记录和提取。利用SPC方法对由WI提取的数据进行统计分析处理,做出控制图,对各种工艺异常进行分析判断进而做出工艺调整,以实现有效的工艺监控,逐步提高工艺加工能力和稳定性。该生产控制方法的应用为工艺线产品的研制和生产提供了有力保证。
李保第刘福庆李彦伟杨中月胡玲崔玉兴付兴昌
关键词：控制图
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共1页<1>
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