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胡玲

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：河北半导体研究所更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇统计过程
  • 1篇统计过程控制
  • 1篇控制图
  • 1篇计算机
  • 1篇计算机辅助制...
  • 1篇过程控制
  • 1篇SPC
  • 1篇CAM

机构

  • 1篇河北半导体研...

作者

  • 1篇付兴昌
  • 1篇杨中月
  • 1篇李保第
  • 1篇崔玉兴
  • 1篇胡玲
  • 1篇刘福庆
  • 1篇李彦伟

传媒

  • 1篇微纳电子技术

年份

  • 1篇2010
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
半导体工艺线CAM及SPC的应用被引量：2
2010年
探讨了在多品种小批量半导体工艺生产线上开发应用CAM技术及实现SPC控制的方法。作者及同事开发了适用于所在工艺线特点的CAM软件系统程序——WI系统,用于工艺的指导和记录、生产的安排和监控以及数据的记录和提取。利用SPC方法对由WI提取的数据进行统计分析处理,做出控制图,对各种工艺异常进行分析判断进而做出工艺调整,以实现有效的工艺监控,逐步提高工艺加工能力和稳定性。该生产控制方法的应用为工艺线产品的研制和生产提供了有力保证。
李保第刘福庆李彦伟杨中月胡玲崔玉兴付兴昌
关键词：控制图
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共1页<1>
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