李明勇
- 作品数：5 被引量：3H指数：1
- 供职机构：北方工业大学更多>>
- 发文基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：化学工程理学一般工业技术更多>>
- 反铁电式MEMS薄膜驱动器研究
- 根据反铁电薄膜在电场作用下产生的电致应变效应及其在微机电系统(MEMS)悬臂梁驱动器中的应用可知,反铁电薄膜具有大位移、响应速度快,耗能少等优点,这些优点可以显著提升MEMS薄膜驱动器的驱动性能,并可以实现非线性的位移。...
- 李明勇
- 关键词：MEMS驱动器非线性
- 文献传递
- MEMS微驱动器及其制作方法
- 本发明公开了一种MEMS微驱动器，该MEMS微驱动器包括形成于衬底上的相互并联连接的第一传输部与第二传输部，同时接收并传输射频信号；形成于由第一传输部与第二传输部围成的区域内的支撑层与下电极，其与驱动信号相连接；形成于下...
- 赵全亮何广平狄杰建袁俊杰宋维力侯志灵李明勇
- 文献传递
- MEMS微驱动器及其制作方法
- 本发明公开了一种MEMS微驱动器，该MEMS微驱动器包括形成于衬底上的相互并联连接的第一传输部与第二传输部，同时接收并传输射频信号；形成于由第一传输部与第二传输部围成的区域内的支撑层与下电极，其与驱动信号相连接；形成于下...
- 赵全亮何广平狄杰建袁俊杰宋维力侯志灵李明勇
- 硅基(001)取向Pb(Mn_(1/3)Nb_(2/3))O_3-Pb(Zr,Ti)O_3薄膜的制备及其铁电性能研究被引量：1
- 2016年
- 采用磁控溅射法在LaNiO_3/Si衬底上制备了6%Pb(Mn_(1/3)Nb_(2/3))O_3-94%Pb(Zr_(0.52)Ti_(0.48))O_3(PMnN-PZT)铁电薄膜,对其微结构和铁电特性进行了研究。结果表明,该铁电薄膜呈(001)高度择优取向,取向度高达98%。经过10^(10)次铁电循环测试,铁电薄膜无疲劳现象;在10~4s时间内,薄膜的铁电保持和印记特性稳定,无明显退化。该结果说明LaNiO_3氧化物电极会降低PMnN-PZT薄膜的氧空位浓度,有效地缓解了电荷注入的问题,因此改善了PMnN-PZT薄膜的铁电性能。
- 张程浩狄杰建谭培培李明勇赵全亮谭晓兰王大伟
- 关键词：铁电性能
- 铌掺杂锆钛酸铅薄膜的制备及其用于微机电系统的机电特性被引量：2
- 2017年
- 采用溶胶-凝胶法在LaNiO_3/Si衬底上制备了Nb_(0.02)-Pb(Zr_(0.6)Ti_(0.4))O_3(PNZT)薄膜及其驱动的微机电系统(MEMS)技术制作的微悬臂梁器件,研究了PNZT薄膜结构和电学性能以及悬臂梁器件的机电特性。结果表明:该PNZT薄膜具有随机取向的钙钛矿相结构,铁电剩余极化强度和矫顽场分别约为20mC/cm^2和27 kV/cm。通过压电响应力显微镜(PFM)和MEMS悬臂梁振动测试,计算得出PNZT薄膜的纵向压电系数d_(33)和横向压电系数d_(31)分别约为70 pm/V和90 pm/V,与已报道的外延生长PZT薄膜d_(33)和d_(31)值相当。同时MEMS悬臂梁在大气压下也表现出较小的机械损耗,一阶谐振时的机械品质因数Q值达到了122。表明该PNZT薄膜未来在高性能铁电和压电MEMS器件领域具有广泛的应用前景。
- 狄杰建李明勇刘京京周添李欢谭晓兰宋维力赵全亮
- 关键词：微机电系统溶胶-凝胶法机电特性
