劳子轩
- 作品数：3 被引量：0H指数：0
- 供职机构：景德镇陶瓷大学机械电子工程学院更多>>
- 发文基金：江西省主要学科学术和技术带头人培养计划国家自然科学基金江西省科技支撑计划项目更多>>
- 相关领域：化学工程理学更多>>
- 衬底温度调制生长GZO薄膜的性能研究
- 2017年
- 利用射频磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备ZnO∶Ga透明导电氧化物薄膜,主要研究了一种类调制掺杂工艺对GZO薄膜的薄膜形貌结构和光电性能的影响。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见-近红外分光光度计(UV-VIS-NIR)和四探针测试仪对GZO薄膜进行表征。结果表明:不同的衬底温度调制下生长的GZO薄膜都具有明显的c轴择优取向,对于衬底温度调制条件下,在150℃/RT条件下的薄膜结晶最好,且在可见近红外波段(480~1600 nm)平均透过率达到85.4%左右,薄膜最低方阻达到60Ω/□。
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- 关键词：光电性能
- 退火气氛对溶胶-凝胶法制备ZnO∶Sn薄膜性能的影响
- 2016年
- 采用溶胶-凝胶法以旋涂的方式在石英玻璃上制备锡掺氧化锌(ZnO∶Sn)透明导电薄膜,在不同的退火气氛下对薄膜进行热处理,以此研究退火气氛对薄膜的微观结构和光电性能的影响。通过X射线衍射仪、扫描电子显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测试仪等手段对薄膜样品进行分析表征,实验表明:不同气氛条件下热处理的ZnO∶Sn薄膜仍为六方纤锌矿结构并沿c轴择优生长,且在可见光范围(400~900 nm)样品的平均透过率均超过80%。其中,在氮气气氛下退火处理的薄膜电阻率减小至3.152×10^(-2)Ω·cm,在惰性气体中热处理有效提高了薄膜的光电特性。
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- 关键词：溶胶凝胶光电特性
- Mg-Al共掺层数对ZnO薄膜性能的影响
- 2017年
- 采用溶胶凝胶法在石英衬底上制备了Mg-Al共掺的ZnO薄膜,研究了不同旋涂层数对ZnO薄膜微观结构、表面形貌以及光学性能的影响。利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电子显微镜(SEM)、紫外-可见分光光度计(UV-VIS)、PL光致发光光谱仪对样品进行了表征与测试。实验结果表明:Mg-Al共掺后的ZnO薄膜均呈现六角纤锌矿结构且沿C轴择优取向生长,薄膜层数的增加能够有效提升薄膜的结晶质量。同时Mg-Al共掺杂能够极大地拓宽ZnO薄膜在近红外光谱域的光透过率,平均透过率超过85%。
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- 关键词：溶胶凝胶法ZNO薄膜光学性能
