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刘卫平

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇硼掺杂
  • 1篇孪晶
  • 1篇金刚石薄膜
  • 1篇HFCVD
  • 1篇掺杂

机构

  • 1篇中国科学技术...

作者

  • 1篇田宇全
  • 1篇王冠中
  • 1篇余庆选
  • 1篇廖源
  • 1篇方容川
  • 1篇刘卫平

传媒

  • 1篇无机材料学报

年份

  • 1篇2005
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
硼掺杂对金刚石薄膜生长特性的影响被引量：4
2005年
采用HFCVD方法制备了掺硼金刚石薄膜,通过扫描电子显微镜和X射线衍射光谱对样品的表面形貌及结构进行了分析.结果表明,随着硼含量的增加,薄膜中晶粒的取向由(100)变为(111),然后趋向于无序化.硼的掺入同样影响到孪晶晶粒的形态及生长因子α,使得α变小.通过对样品的Raman光谱分析,得出在适当的硼掺杂浓度下,孪晶的出现使金刚石薄膜中的应力得到松弛,从而中心声子线Raman位移红移较小.
刘卫平余庆选田宇全廖源王冠中方容川
关键词：孪晶HFCVD硼掺杂金刚石薄膜
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