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刘志钢
作品数:
1
被引量:4
H指数:1
供职机构:
天津大学电子信息工程学院
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发文基金:
国家自然科学基金
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相关领域:
电子电信
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合作作者
窦雁巍
天津大学电子信息工程学院
胡明
天津大学电子信息工程学院
宗杨
天津大学电子信息工程学院
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刘志钢
传媒
1篇
纳米技术与精...
年份
1篇
2007
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采用原电池法制备纳米多孔硅
被引量:4
2007年
利用原电池法在硅片表面制备了纳米多孔硅层;用扫描电镜SEM和原子力显微镜AFM观察了多孔硅表面形貌:原电池法与电化学法得到的多孔硅孔径均在10~20nm范围.研究结果表明:铂膜电极厚度的增大以及铂膜电极与暴露硅片面积比的增大,会导致多孔硅层的厚度增大.热学模拟结果表明:以纳米多孔硅作为绝热层可获得与悬浮结构相同的效果.
宗杨
胡明
窦雁巍
刘志钢
关键词:
绝热
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