康恒
- 作品数：11 被引量：7H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
- 一种纳米线条的修复方法
- 本发明涉及半导体微纳结构制造技术领域，具体涉及一种纳米线条的修复方法，所述方法包括如下步骤：将具有光刻胶纳米线条的硅片放在电子显微镜下观察是否有坍塌或粘连的光刻胶纳米线条；将有坍塌或粘连的光刻胶纳米线条的硅片放在兆声波发...
- 黄洛俊景玉鹏康恒李勇滔
- 文献传递
- 微波在半导体退火工艺中的应用被引量：1
- 2017年
- 针对传统快速热处理工艺(RTP)在退火过程中引起杂质再扩散导致难以制作浅结器件的问题,采用了微波退火的方式进行退火,有效降低了热预算,能够解决杂质再扩散的问题。相比传统RTP退火,微波的退火机理具有特殊性,其不仅有微波的热效应还有微波的非热效应,使微波退火能够在较低的温度下实现杂质激活和晶格修复。实验表明,在注入能量为15 keV、注入剂量为1×1015 cm-2时,P31注入的样品经微波退火后其方块电阻均值小于200Ω/,片内不均匀度小于3%,最高退火温度仅约为400℃,热预算远低于传统RTP退火。该实验结果表明,微波退火的方法在浅结器件的制备工艺中有较大的应用潜力。
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- 关键词：微波退火离子注入
- 一种石英薄膜片真空规管
- 本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种石英薄膜片真空规管。一种石英薄膜片真空规管，包括：外壳，所述外壳包括上盖实体和底座；薄膜片，所述薄膜片将所述外壳内部空间分为真空空间和被测空间；所述薄膜片表面镀有一层镀金；陶瓷极...
- 康恒景玉鹏黄洛俊
- 文献传递
- 一种纳米线条的修复方法
- 本发明涉及半导体微纳结构制造技术领域，具体涉及一种纳米线条的修复方法，所述方法包括如下步骤：将具有光刻胶纳米线条的硅片放在电子显微镜下观察是否有坍塌或粘连的光刻胶纳米线条；将有坍塌或粘连的光刻胶纳米线条的硅片放在兆声波发...
- 黄洛俊景玉鹏康恒李勇滔
- 文献传递
- 微波用于抑制光刻胶纳米线条倒伏的研究
- 2017年
- 针对半导体工艺中去离子水的表面张力导致显影干燥过程中光刻胶纳米线条容易发生倒伏的问题,采用了微波干燥方法,以抑制光刻胶纳米线条倒伏。利用微波的热效应和非热效应,降低去离子水的表面张力,使光刻胶纳米线条上的去离子水均匀、快速地蒸发,有效抑制了光刻胶纳米线条的倒伏。与氮气干燥处理的传统方法相比,该方法能使高130nm、宽15nm的光刻胶纳米线条不发生倒伏,效果明显。这表明,该方法是可行和有效的。
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- 关键词：微波干燥倒伏水分子团簇
- 一种蓝宝石薄膜片真空规管
- 本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种蓝宝石薄膜片真空规管。一种蓝宝石薄膜片真空规管，包括：外壳；薄膜片，所述薄膜片的材质为蓝宝石材料，所述薄膜片将外壳内部空间分为真空空间和被测空间；陶瓷极板，所述陶瓷极板固定设置在...
- 康恒景玉鹏黄洛俊
- 文献传递
- 一种三氧化二铝薄膜真空规管
- 本发明属于真空设备技术领域，公开了一种三氧化二铝薄膜真空规管，包括：外壳、陶瓷片、陶瓷片通孔、三氧化二铝薄膜、第一电极柱、第二电极柱、抽真空口、测量进气口；解决了现有技术中使用金属薄片作为真空规管薄膜，金属薄片应力比较低...
- 康恒景玉鹏黄洛俊
- 文献传递
- 超临界CO2清洗技术在CMOS图像传感器中的应用被引量：4
- 2017年
- 针对传统去离子水和高纯氮气组合的两相流清洗方法对CMOS图像传感器上颗粒污染物清洗良率不足的问题,采用了一种喷嘴式超临界二氧化碳(SSCO_2)清洗的方法来清洗CMOS图像传感器。相比传统的水气两相流清洗方法,本方法利用了SSCO_2的表面张力小、溶解度高和扩散能力强等优点。实验结果显示,喷嘴式超SSCO_2清洗方法对CMOS图像传感器的像素点表面以及像素点之间直径大于300 nm的颗粒污染物可以进行有效清除,相对于传统的两相流清洗方法其清洗效果有明显的提高。该实验表明这种清洗方式在CMOS图像传感器清洗方面具有良好的应用前景。
- 黄洛俊康恒程嵩李勇滔夏洋景玉鹏
- 关键词：CMOS图像传感器两相流颗粒污染物
- 一种高精度真空规管
- 本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种高精度真空规管。一种高精度真空规管，包括：外壳；薄膜片，所述薄膜片固定设置在外壳内部，并将外壳内部空间分为真空空间和被测空间；定电极，所述定电极固定设置在真空空间内，所述定电极与...
- 康恒景玉鹏黄洛俊
- 文献传递
- 一种电容薄膜真空计检测电路的设计被引量：2
- 2019年
- 针对电容薄膜真空计的电容检测精度要求高以及非线性的问题,文中设计了一种基于二极管桥的检测电路。该电路检测电容薄膜真空计的测量电容与参考电容的差值,能有效抑制共模噪声的干扰,并采用负反馈的方法对非线性进行补偿。仿真表明负反馈的方法能够有效降低真空计的非线性,在仿真数据上非线性度从7.27%降低到0.662%。实际测试结果表明该电路能准确地检测电容,电路灵敏度为1.85 V/pF,非线性度为0.4%,电路稳定性较好。
- 康恒李勇滔李勇滔景玉鹏
- 关键词：电容检测非线性负反馈
