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王丽
作品数:
1
被引量:2
H指数:1
供职机构:
曲靖师范学院物理与电子工程学院
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相关领域:
金属学及工艺
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合作作者
周应强
曲靖师范学院物理与电子工程学院
朱志军
曲靖师范学院物理与电子工程学院
周铖
昆明理工大学材料与冶金工程学院...
郭诗玫
曲靖师范学院物理与电子工程学院
刘国涛
昆明理工大学材料与冶金工程学院...
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王丽
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朱志军
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周应强
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云南冶金
年份
1篇
2013
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Cu-W、Cu-Mo薄膜的微观结构及显微硬度分析
被引量:2
2013年
采用磁控共溅射方法分别制备了含有W和Mo两种不同成分的铜系薄膜,用EDX、XRD、SEM和纳米压痕仪对薄膜成份、结构、形貌和显微硬度进行了分析。结果表明,制备出的Cu-W和Cu-Mo薄膜均呈晶态结构,Cu-W和Cu-Mo形成了均匀的固溶体;经650℃热处理1 h后,Cu-W和Cu-Mo薄膜中晶粒长大,有富W和富Mo相从基体Cu相中弥散析出;Cu-W薄膜的显微硬度随W成分的增加先增加后降低;Cu-Mo薄膜的显微硬度随Mo成分的增加而持续升高,薄膜退火态的显微硬度低于沉积态。分析认为,以上结果的产生均因添加W、Mo所引起的晶粒细化效应和薄膜的热稳定性较差所致。
王丽
郭诗玫
周应强
朱志军
周铖
刘国涛
关键词:
微观结构
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