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赵春雨

作品数：1 被引量：4H指数：1
供职机构：长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室更多>>
发文基金：教育部“新世纪优秀人才支持计划”国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
相关领域：理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇理学

主题

  • 1篇射频磁控
  • 1篇射频磁控溅射
  • 1篇溅射
  • 1篇MSM
  • 1篇MSM结构
  • 1篇磁控
  • 1篇磁控溅射
  • 1篇ZNO薄膜

机构

  • 1篇长春理工大学
  • 1篇中国科学院长...

作者

  • 1篇张吉英
  • 1篇申德振
  • 1篇姚斌
  • 1篇张振中
  • 1篇李炳辉
  • 1篇王晓华
  • 1篇赵东旭
  • 1篇赵春雨

传媒

  • 1篇发光学报

年份

  • 1篇2008
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质被引量：4
2008年
采用射频磁控溅射在石英衬底上制备了c轴择优取向的ZnO薄膜,利用蚀刻技术制备了MSM结构的光导型紫外探测器。在3V偏压下,器件的暗电流小于250nA,光响应峰值在370nm,响应度是0.34A/W。其紫外(360nm)与可见光(420nm)的抑制比为4个数量级。器件的光响应时间上沿仅为20ns。
赵春雨张吉英王晓华申德振姚斌赵东旭张振中李炳辉
关键词：ZNO薄膜MSM射频磁控溅射
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