您的位置: 专家智库 > >

李昕

作品数:3 被引量:2H指数:1
供职机构:中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文基金:国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域:电子电信一般工业技术电气工程更多>>

文献类型

  • 3篇中文期刊文章

领域

  • 3篇电子电信
  • 2篇电气工程
  • 2篇一般工业技术

主题

  • 1篇等离子体
  • 1篇质量传感器
  • 1篇声波
  • 1篇跳频
  • 1篇图形化
  • 1篇物理传感器
  • 1篇刻蚀
  • 1篇刻蚀设备
  • 1篇蓝宝
  • 1篇蓝宝石
  • 1篇感器
  • 1篇感应耦合
  • 1篇感应耦合等离...
  • 1篇FBAR
  • 1篇GPIB
  • 1篇ICP
  • 1篇LABVIE...
  • 1篇并口
  • 1篇测控
  • 1篇测控平台

机构

  • 3篇中国电子科技...

作者

  • 3篇李昕
  • 1篇曹亮
  • 1篇唐代华
  • 1篇梁栋
  • 1篇马晋毅
  • 1篇李燕
  • 1篇刘荣贵
  • 1篇袁小平
  • 1篇张雨
  • 1篇袁媛
  • 1篇李晖
  • 1篇秦伟
  • 1篇何杰
  • 1篇许昕
  • 1篇毛海燕
  • 1篇杨正兵

传媒

  • 3篇压电与声光

年份

  • 1篇2014
  • 2篇2013
3 条 记 录,以下是 1-3
排序方式:
FBAR技术的敏感应用与发展研究
2014年
薄膜声体波谐振器(FBAR)技术以其频率高,品质因数(Q)高,插入损耗低,与半导体集成电路(IC)工艺兼容等优良特性在无线通信领域获得了广泛应用。基于FBAR技术的传感器具有灵敏度高,体积小,线性度好及易于集成等特点,符合目前传感器的微型化、智能化、信息化的主流发展趋势。该文对FBAR传感器的研究现状、发展动向等方面进行了总结并对石英晶体微天平(QCM)、声表面波(SAW)和FBAR这几种声波质量传感器进行了比较。最后对FBAR传感器技术作了简要评述并讨论了FBAR传感器未来的发展趋势。
何杰袁小平刘荣贵许昕李昕袁媛毛海燕马晋毅
基于LabVIEW的跳频组件测控平台研究被引量:1
2013年
为了满足跳频组件研制过程的测控需求,通过对跳频组件的工作原理和测控需求的分析,提出了基于计算机控制的测控平台的实现方案,研究了测控平台的设计原理、硬件结构和软件设计流程,最后在LabVIEW环境下开发出了针对具体跳频类组件应用的测控平台。实验证明,该测控平台的应用提高了组件的调试、测试效率,且缩短了组件的开发周期,具有很好的推广应用价值。
秦伟李昕张雨
关键词:LABVIEW测控平台并口
利用ICP设备制备图形化蓝宝石基底的工艺控制被引量:1
2013年
该文对利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀设备来制作图形化蓝宝石基底(PSS)的工艺控制进行了研究。在工艺制作过程中,选用了C轴(0001)取向的100mm蓝宝石平片作为实验样品,通过光刻工艺和ICP刻蚀工艺控制,制作出了具有圆锥状图形结构的图形化蓝宝石基底。借助扫描电子显微镜,对该图形化蓝宝石基底进行了测量和分析。测量结果显示,基底表面上的单粒圆锥状图形结构的底部直径为(3.45±0.25)μm,刻蚀高度/深度为(1.75±0.25)μm,整个图形化蓝宝石基底成品片的均匀性控制在3%以内。
李燕曹亮李晖唐代华Wonsik YOO梁栋杨正兵李昕
关键词:蓝宝石刻蚀刻蚀设备
共1页<1>
聚类工具0