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李燕

作品数：13 被引量：5H指数：1
供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
发文基金：国际科技合作与交流专项项目更多>>
相关领域：一般工业技术电气工程电子电信理学更多>>

合作作者

文献类型

  • 9篇专利
  • 2篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 3篇一般工业技术
  • 2篇电子电信
  • 2篇电气工程
  • 1篇理学

主题

  • 8篇声表面波
  • 5篇声表面波器件
  • 4篇滤波器
  • 2篇声表面波滤波...
  • 2篇声表面波谐振...
  • 2篇声速
  • 2篇图形化
  • 2篇显影液
  • 2篇谐振器
  • 2篇宽带
  • 2篇蓝宝
  • 2篇蓝宝石
  • 2篇光刻
  • 2篇光刻工艺
  • 2篇SAW
  • 2篇SAW滤波器
  • 2篇超宽带
  • 1篇单晶
  • 1篇单晶薄膜
  • 1篇倒装焊

机构

  • 13篇中国电子科技...
  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 13篇李燕
  • 7篇唐代华
  • 5篇李磊
  • 5篇杨正兵
  • 4篇曹亮
  • 4篇张华
  • 3篇金中
  • 3篇赵雪梅
  • 3篇蒋欣
  • 2篇谭学斌
  • 2篇米佳
  • 2篇陈运祥
  • 2篇张永川
  • 2篇李洪平
  • 2篇刘娅
  • 2篇彭霄
  • 2篇刘晓莉
  • 1篇陈湘渝
  • 1篇段伟
  • 1篇杨增涛

传媒

  • 2篇压电与声光
  • 1篇2009年中...

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2021
  • 1篇2019
  • 2篇2016
  • 1篇2015
  • 3篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 2篇2009
共 13 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种应用于高频声表面波器件划片工艺的静电消除结构
本实用新型提供的应用于高频声表面波器件划片工艺的静电消除结构，包括晶圆和若干个高频声表面波器件；高频声表面波器件包括正电荷汇流条和负电荷汇流条，高频声表面波器件并排相邻设置在该晶圆上，相邻的两个高频声表面波器件中，一高频...
金中李磊李燕杨正兵刘娅何西良曾祥君唐代华曹亮
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一种温度补偿型低损耗超宽带谐振器及滤波器
本发明公开了一种温度补偿型低损耗超宽带谐振器，包括15°铌酸锂基片，所述基片上梳状设置有金属指条，所述基片及金属指条上设置有一层二氧化硅温度补偿层，所述金属指条的宽度d与所述超宽带声表面波谐振器的半个谐振周期p的比值的取...
谭发曾蒋欣刘娅彭霄李燕金中
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基片级声表面波器件的频率修正方法
本发明公开了一种基片级声表面波器件的频率修正方法，采用分段操作多次腐蚀浸泡的方法，通过减薄金属膜厚度和减细指条宽度来提高器件频率，使其达到合格范围，本发明的优点在于：本发明通过较为均匀地减薄金属膜厚度和减细金属叉指换能器...
李磊李燕唐代华张华段伟赵建国
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光刻工艺的显影方法
本发明公开了一种光刻工艺的显影方法，包括：旋转步骤：以第一速度旋转声表面波晶片；第一次滴注步骤：移动显影液手臂至所述声表面波晶片的边缘处并开始滴注显影液；移动步骤：将显影液手臂从声表面波晶片的边缘移动至声表面波晶片的中心...
李燕曹亮杨正兵唐代华李磊张华
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高声速SAW复合压电薄膜研究
本文阐述了高声速SAW复合压电薄膜材料SiO/Al/ZnO/IDT/金刚石/Si的研究进展情况,给出了该复合结构压电材料的制作方法和实验结果。φ2"金刚石/Si材料表面粗糙度达到0.89nm,金刚石膜晶粒粒度在5～10μ...
陈运祥谭学斌唐代华李洪平李燕赵雪梅张永川
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高声速SAW复合压电薄膜研究
本文阐述了高声速SAW复合压电薄膜材料SiO2/Al/ZnO/IDT/金刚石/Si的研究进展情况,给出了该复合结构压电材料的制作方法和实验结果。φ2'金刚石/Si材料表面粗糙度达到0.89nm,金刚石膜晶粒粒度在5～10...
陈运祥谭学斌唐代华李洪平李燕赵雪梅张永川
关键词：表面粗糙度SAW滤波器
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多层合金膜结构声表面波器件
本实用新型公开了一种多层合金膜结构声表面波器件，包括压电基片和制作在压电基片表面的叉指换能器，所述叉指换能器为三层结构，从下往上依次为打底层、中间层和表层，其中打底层为钛层，中间层为铜层或者金层，表层为AlCu合金层或者...
米佳刘晓莉朱勇赵雪梅李燕蒋欣焉秋娟陈湘渝张龙董加和王岚伍平
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一种倒装焊封装的多声表裸芯片模块
本实用新型公开了一种倒装焊封装的多声表裸芯片模块，包括基板和至少一个声表裸芯片；所述声表裸芯片倒装焊接于基板上，所述声表裸芯片包覆于树脂膜中，所述树脂膜通过热压贴合在基板上。本实用新型由于采用了裸声表面波芯片直接倒装的工...
金中肖立杜雪松陈小兵李燕李磊张华罗山焱
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光刻工艺的显影方法
本发明公开了一种光刻工艺的显影方法，包括：旋转步骤：以第一速度旋转声表面波晶片；第一次滴注步骤：移动显影液手臂至所述声表面波晶片的边缘处并开始滴注显影液；移动步骤：将显影液手臂从声表面波晶片的边缘移动至声表面波晶片的中心...
李燕曹亮杨正兵唐代华李磊张华
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一种单晶薄膜SAW滤波器的膜层结构及其制备方法
本发明属于声表面波滤波器的制备工艺技术领域，具体涉及一种单晶薄膜SAW滤波器的膜层结构及其制备方法，所述所述膜层结构包括POI晶圆衬底以及在所述POI晶圆衬底的上方依次制备的IDT层、SiO2保护层、电极加厚层，所述ID...
贺贞冉鹏李燕米佳田本朗马晋毅
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