李晖
- 作品数：5 被引量：16H指数：3
- 供职机构：中国电子科技集团第二十六研究所更多>>
- 发文基金：模拟集成电路国家重点实验室开放基金国际科技合作与交流专项项目更多>>
- 相关领域：电子电信更多>>
- 高密度电子系统的微热控技术研究被引量：6
- 2020年
- 在摩尔定律提出之后的50年时间里,电子系统的集成度和组装度不断提高,功率和热流密度越来越大,微热管理技术已成为高密度电子系统(包括元器件、芯片、组/部件及系统本身)设计与制造的重要研究目标。文章分析了微热控技术的发展背景,叙述了微通道、微热管和微喷射等三种基本热控系统的典型结构和工作原理。最后,介绍了近年来具有代表性的微热控技术的发展现状和技术成果。
- 李晖李左翰胡少勤米佳毛世平
- 关键词：电子系统微通道微热管
- 高性能声学滤波器技术研究进展被引量：5
- 2020年
- 声学滤波器是当前射频前端模块中最核心元器件之一。随着第五代(5G)移动通信技术的深入推进,对滤波器的技术要求也不断提高。近年来,在一些新架构、新材料和先进建模技术的加持下,声学滤波器技术屡有突破,已研制出多种高性能声学滤波器。该文对高性能声表面波(SAW)和声体波(BAW)滤波器技术(包括UltraSAW、LowDrift TM和NoDrift TM、I.H.P SAW、XBAR TM、XBAW滤波器等)的研究情况进行了介绍与评述。最后对未来声学滤波器将面临的技术问题做了简要总结。
- 李晖米佳胡少勤李左翰邱海莲
- 关键词：声学
- 利用ICP设备制备图形化蓝宝石基底的工艺控制被引量：1
- 2013年
- 该文对利用感应耦合等离子体(ICP)刻蚀设备来制作图形化蓝宝石基底(PSS)的工艺控制进行了研究。在工艺制作过程中,选用了C轴(0001)取向的100mm蓝宝石平片作为实验样品,通过光刻工艺和ICP刻蚀工艺控制,制作出了具有圆锥状图形结构的图形化蓝宝石基底。借助扫描电子显微镜,对该图形化蓝宝石基底进行了测量和分析。测量结果显示,基底表面上的单粒圆锥状图形结构的底部直径为(3.45±0.25)μm,刻蚀高度/深度为(1.75±0.25)μm,整个图形化蓝宝石基底成品片的均匀性控制在3%以内。
- 李燕曹亮李晖唐代华Wonsik YOO梁栋杨正兵李昕
- 关键词：蓝宝石刻蚀刻蚀设备
- 声学梳谱信号产生器件的探索
- 2015年
- 介绍了工作频率在约为10GHz的UHF频段,可产生梳谱信号的高次谐波声体波谐振器(HBAR)的原理、设计和制作工艺方法。设计了Au/Cr/ZnO/Au/Cr/YAG/Cr/Au/ZnO/Cr/Au双端结构的谐振器,试验样品在谐振频率2.240 137GHz的品质因数(Q)值达到23 000。进一步开展氧化锌成膜工艺技术的研究,实现对HBAR设计修正,提升器件的Q值。
- 朱昌安周勇穆晓华郑泽渔徐阳司美菊田亚睿李晖
- 关键词：声学压电换能器氧化锌薄膜
- 医用微流控芯片研究进展被引量：4
- 2019年
- 随着微电子学和微机电系统技术不断发展,微流控芯片技术不断创新,一些具有颠覆意义的新型医用芯片不断出现,并成为现代医学技术的支撑工具。首先,概述了医用微流控芯片的概念和应用。然后,介绍了6种具有代表性的新型医用微流控芯片的研究进展,包括基因芯片、即时诊断芯片、免疫芯片、可穿戴式芯片、数字化聚合酶链式反应芯片、循环肿瘤细胞芯片、组织与器官仿生芯片。最后,总结了医用微流控芯片的发展趋势。
- 齐云李晖米佳胡少勤赖凡张玉蕾
- 关键词：微流控芯片医药
