张文雅
- 作品数：19 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术金属学及工艺电气工程更多>>
- 大功率UPS的工作原理及应用
- 2007年
- 论述了各种因市电供电故障原因给半导体设备带来的危害,说明为了保证半导体生产线某些重要设备长期安全运行采用大功率UPS提供高质量供电的必要性。由于近代电力电子技术的不断发展,新的调制理论和器件的应用,使得UPS性能得到极大的提高,其输出功率现在可达到1000kV·A以上,输出近乎完美的正弦波电压波形,满足了各种负载需求。并论述了近代发展起来的UPS核心技术SPWM的原理和基于SPWM技术设计的三进三出逆变器以及4种类型的UPS的工作原理及重要技术参数。
- 宋健朱鹏张文雅雷宇
- 关键词：UPSSPWMIGBT
- Cymer准分子激光器的工作原理及应用被引量：2
- 2008年
- 论述了Cymer公司ELS-6000系列准分子激光器工作原理和激光器的各个组成模块。在应用方面,论述了激光束的传输方法和与Stepper通信接口的应用,最后论述了激光气体的安全使用,防止对工作人员造成伤害。
- 宋健朱鹏张文雅雷宇
- 关键词：准分子激光器二聚物投影光刻机
- 吸擦一体式擦头装置
- 本发明提供了一种吸擦一体式擦头装置，包括吸盘主体和吸盘芯，吸盘主体上表面设有用于容纳研磨液的第一环形凹槽，第一环形凹槽的底部设有第一研磨液排出孔，安装圆台的中心设有第一通气孔；吸盘芯安装在吸盘主体的下表面；吸盘芯具有与第...
- 刘炳义王秀海文黎波赵英伟吴爱华郝晓亮秦天马培圣张文雅曹健
- 真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机
- 本发明提供了一种真空连接转换装置、载片抛光方法及抛光机，属于半导体技术领域，包括：轴套、内套筒、轴承以及分体端盖，轴套具有上连接段和下连接段，上连接段内的上通孔的孔径大于下连接段的下通孔的孔径，上通孔和下通孔的相接处构成...
- 曹健赵英伟郝晓亮王秀海马培圣张文雅文黎波吴爱华
- 一种半导体晶体生长及原位退火的方法及装置
- 本发明提供一种半导体晶体生长及原位退火的方法及装置，涉及半导体晶体制备技术领域。该半导体晶体生长及原位退火的方法，包括以下过程：S1.首先将坩埚盖焊接或烧结至坩埚上，然后向坩埚内部放置固体氧化硼和固体磷化铟，然后将坩埚放...
- 王书杰孙聂枫邵会民徐森锋顾占彪张文雅史艳磊李晓岚王阳
- 非接触式晶圆翻转装置及翻转方法
- 本发明提供了一种非接触式晶圆翻转装置及翻转方法，属于半导体制作技术领域，包括旋转手指气缸、两组晶圆夹持支撑件以及晶圆夹持机械手，旋转手指气缸具有至少180°旋转的自由度及手指相对移动的自由度；两组晶圆夹持支撑件对称固定于...
- 文黎波王秀海刘柄义赵英伟吴爱华秦天郝晓亮马培圣曹健张文雅
- 一种熔体迁移法生长化合物半导体单晶的方法
- 一种熔体迁移法生长化合物半导体单晶的方法，属于化合物单晶的制备领域，本发明设计两个迁移熔池，在温度梯度下小尺寸籽晶通过纵向熔池横向迁移长大，然后通过横向熔池纵向迁移来获得大尺寸长化合物半导体单晶。通过控制横向和纵向温度梯...
- 王书杰孙聂枫李晓岚王阳顾占彪张文雅史艳磊邵会民
- 投影光刻机TTL对准原理与故障分析被引量：2
- 2016年
- 论述了ASML公司某型投影光刻机TTL对准系统的基本原理和主要构成,介绍了对准系统在光刻工艺中的工作过程,结合多年的投影光刻机维修经验总结了对准系统的常见故障,并给出了分析以及解决方法。
- 张文雅宋健
- 关键词：氦氖激光器投影光刻机
- 基于DSP增益可控的光刻机测高电路的设计研究
- 2021年
- 介绍了激光三角法高度测量技术和基于数字信号处理器DSP与线阵CCD的激光高度测量系统。采用比例恒流源和镜像恒流源组合,设计了输出功率稳定可调的激光二极管驱动电路和线阵CCD的驱动电路,借助DSP定时器周期调节灵活的优点,方便地调节光积分时间来提高信号质量。针对光刻工艺中不同的测量对象表面的光学特征,自动进行激光二极管增益控制和光积分时间调节,提高测量的适应性和测量效率。
- 赵英伟郝晓亮张文雅马培圣文黎波
- 关键词：激光三角法线阵CCD数字信号处理器光刻机
- 射频等离子工艺设备中的自动阻抗匹配技术被引量：4
- 2020年
- 介绍了射频阻抗匹配的基本原理和常见的匹配网络类型,以串并联电容组成的Г型匹配网络为例,利用史密斯圆图,阐述了阻抗匹配的工作原理。介绍射频等离子技术在微电子工艺设备中的应用。给出了自动匹配网络的检测电路、电机驱动电路和控制电路,提出了优化自动阻抗匹配能力的方法。
- 赵英伟张文雅郝晓亮
- 关键词：等离子射频相位
