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罗亮

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域：冶金工程更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇冶金工程

主题

  • 1篇多晶
  • 1篇多晶硅
  • 1篇烧结炉
  • 1篇喷涂
  • 1篇铸锭
  • 1篇坩埚

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇陈特超
  • 1篇李军阳
  • 1篇刘松
  • 1篇罗亮

传媒

  • 1篇电子工业专用...

年份

  • 1篇2009
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多晶硅铸锭用坩埚烧结炉的设计
2009年
多晶硅铸锭时是将硅材料放在一个耐高温容器即坩埚中将硅料熔化、冷却、长晶的过程。装硅料的容器必须耐高温,不挥发,一般采用氧化硅陶瓷制造。为了保证硅锭的纯度,在硅料放入前需在坩埚内表面喷涂一层隔离材料,然后将此材料与坩埚在高温下形成一体。坩埚烧结炉就是将此喷涂物与坩埚烧结起来,形成牢固的隔离层。本文介绍了设计方法,提供了详细设计计算过程,介绍了设备的特点,并结合实际使用情况给出了测试数据。
陈特超李军阳刘松罗亮
关键词：多晶硅铸锭坩埚喷涂烧结炉
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