刘松
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- 多晶硅铸锭用坩埚烧结炉的设计
- 2009年
- 多晶硅铸锭时是将硅材料放在一个耐高温容器即坩埚中将硅料熔化、冷却、长晶的过程。装硅料的容器必须耐高温,不挥发,一般采用氧化硅陶瓷制造。为了保证硅锭的纯度,在硅料放入前需在坩埚内表面喷涂一层隔离材料,然后将此材料与坩埚在高温下形成一体。坩埚烧结炉就是将此喷涂物与坩埚烧结起来,形成牢固的隔离层。本文介绍了设计方法,提供了详细设计计算过程,介绍了设备的特点,并结合实际使用情况给出了测试数据。
- 陈特超李军阳刘松罗亮
- 关键词：多晶硅铸锭坩埚喷涂烧结炉
- Kovar合金引脚的热电效应对压力敏感芯体输出的影响
- 2022年
- 可伐(Kovar)合金与玻璃、陶瓷等被封接材料的热膨胀系数相近,在航空、航天、军工所使用的传感器领域主要用作压力敏感芯体的引脚。航空、航天、军工领域所使用的传感器一般都有低输出漂移量的需求,但是在实际使用过程中,部分传感器上电后会存在较大输出漂移的现象,可伐合金引脚的热电效应就是导致这种现象的原因之一。测量可伐合金引脚热电势-温度变化曲线,计算出可伐合金引脚的Seebeck系数;分析不同引脚上产生的热电势对压力敏感芯体输出造成的影响,并给出了详细的计算公式;讨论了几种设计要点,可以通过更改可伐合金引脚的布局、增加热传递的距离、增加隔热层等手段削弱可伐合金引脚热电效应造成的影响。
- 何宇梁浏刘松江方何王点刘辉
- 关键词：可伐合金热电效应热电势
