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文献类型

  • 2篇中文期刊文章

领域

  • 2篇电子电信

主题

  • 2篇声体波
  • 1篇低损耗
  • 1篇压电薄膜
  • 1篇延迟线
  • 1篇氧化锌
  • 1篇微波延迟线
  • 1篇溅射
  • 1篇ZNO压电薄...

机构

  • 2篇四川压电与声...

作者

  • 2篇朱昌安
  • 2篇王宗富
  • 2篇汤劲松
  • 2篇周勇
  • 2篇郑泽渔
  • 1篇刘玲
  • 1篇米佳
  • 1篇李世红

传媒

  • 2篇压电与声光

年份

  • 2篇2010
2 条 记 录,以下是 1-2
排序方式:
2μs低损耗声体波微波延迟线被引量:5
2010年
通过优化换能器拓扑结构,探索长延时传声介质的双面光刻及探针提取S参数进行网络匹配等技术,改进了声体波微波延迟线换能器设计及制作工艺。研制出中心频率为4.3 GHz,带宽为200 MHz,延迟时间为1.999 7μs,插入损耗仅26 dB,直通抑制45 dB,3次渡越抑制42 dB的声体波微波延迟线。
朱昌安郑泽渔李世红汤劲松周勇王宗富米佳刘玲
关键词:低损耗声体波延迟线
ZnO压电薄膜双面共溅生长技术被引量:2
2010年
在只有一个靶源的情况下,利用改良的夹具,在钇铝石榴石(YAG)晶体的两端用反应磁控溅射法同时溅射生长ZnO压电薄膜。对ZnO压电薄膜做了X-射线衍射(XRD)分析,测试了用双面方法制作的声体波薄膜换能器的回波损耗。结果表明,采用双面共溅工艺生长ZnO压电薄膜有效地解决了第一端换能器压电性能退化的问题,提高了两端换能器压电性能的一致性,提高了生产效率。
郑泽渔汤劲松朱昌安周勇王宗富
关键词:氧化锌压电薄膜溅射声体波
共1页<1>
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