郭胜利
- 作品数:3 被引量:8H指数:2
- 供职机构:景德镇陶瓷学院机械电子工程学院更多>>
- 发文基金:江西省自然科学基金国家自然科学基金江西省主要学科学术和技术带头人培养计划更多>>
- 相关领域:化学工程理学更多>>
- 退火温度对溶胶-凝胶法制备ZnO:Al薄膜的影响被引量:4
- 2015年
- 采用溶胶-凝胶旋涂法在石英玻璃衬底上生长了ZnO:Al薄膜,对所制备的薄膜在空气中用450℃、550℃和650℃的环境中进行退火,并研究不同退火温度对薄膜样品形貌和性能的影响。用场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)、X射线衍射仪(XRD)、紫外—可见—近红外分光光度计(UV-VIS-NIR)、荧光光谱仪(PL)多种测试手段研究了不同退火温度对ZnO:Al薄膜的结构形貌、晶格尺寸、透过率以及光致发光的影响。结果表明,该溶胶-凝胶旋涂法制备的ZnO:Al薄膜为六角纤锌矿结构,有很明显的C轴择优取向,薄膜在可见光区的透过率超过90%。随着退火温度的升高,薄膜(002)衍射峰增强,薄膜的晶粒尺寸增大,薄膜的光致发(PL)光强度增强且紫外发光边带随着退火温度的增加向短波方向移动。
- 郭胜利胡跃辉胡克艳陈义川刘细妹徐斌张志明
- 关键词:ZNO薄膜溶胶-凝胶法退火温度光学性能
- 溅射功率对PET柔性衬底上制备ZnO:Ga薄膜的影响被引量:1
- 2016年
- 在室温条件下,通过射频磁控溅射法在柔性衬底PET上制备ZnO:Ga(GZO)透明导电薄膜。主要研究了溅射功率对薄膜结构、内应力、光学和电学性能的影响,并对样品进行了相关测试。XRD测试表明GZO薄膜具有六角纤维矿结构的同时具有良好的C轴择优取向生长,但是衍射角出现明显偏移,表明薄膜内部存在较大应力;SEM测试显示薄膜表面晶粒具有良好的均匀均性和致密性,随着溅射功率增加,晶粒尺寸按照一定规律变化。薄膜的平均透过率在85%左右,电阻率最低达到7.1×10^(-3)?·cm。
- 徐承章胡跃辉陈义川胡克艳范建斌郭胜利
- 关键词:ZNO薄膜溅射功率内应力
- 溅射压强对W掺杂ZnO薄膜结构及光学性能的影响被引量:3
- 2016年
- 在不同溅射压强下,通过射频(RF)磁控溅射在石英玻璃衬底上沉积得到W掺杂ZnO薄膜(WZO)。对样品的结晶性能,表面形貌和光学性能进行测试分析,结果表明:在适当溅射压强下,薄膜具有良好的结晶性和光学性能。随着溅射压强的增加,薄膜的结晶性先变好后变差,晶粒尺寸先增大后减小,在1.0 Pa时薄膜的结晶性最好,且晶粒尺寸最大,约为32 nm;所有WZO薄膜样品的平均透光率超过80%;光致发光主要由本征发光和缺陷引起的蓝光发光组成,在1.0 Pa时薄膜还有明显的Zni缺陷,在1.2 Pa时薄膜有明显的Oi缺陷。
- 郭胜利胡跃辉胡克艳陈义川范建彬徐承章童帆
- 关键词:溅射压强ZNO薄膜光致发光