齐航
- 作品数：6 被引量：12H指数：2
- 供职机构：昆明物理研究所更多>>
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- 相关领域：电子电信化学工程更多>>
- 量子阱红外探测器材料技术研究
- 周旭昌谭英杨春章李艳辉苏栓齐航高丽华李东升
- 关键词：量子阱红外探测器分子束外延
- 长波量子阱红外探测器材料技术研究被引量：4
- 2013年
- 针对红外探测应用开展了长波GaAs/AlGaAs量子阱材料技术研究。系统地介绍了量子阱红外探测器材料的材料设计、生长和表征。基于一维薛定谔方程的求解获得量子阱材料的能带结构,进行量子阱材料的设计。采用分子束外延技术进行量子阱材料的生长研究。对量子阱材料的室温光荧光谱和高分辨率X射线衍射测试结果表现出材料高度晶格完整性以及平整界面。基于布鲁斯特角配置的傅立叶红外光谱测试获得了量子阱材料子带间跃迁吸收产生的红外吸收谱。采用该材料制备出高性能的量子阱红外焦平面探测器。
- 周旭昌谭英杨春章李艳辉苏栓齐航高丽华李东升
- 关键词：分子束外延
- 分子束外延(MBE)生长用Ge(211)衬底生长前腐蚀
- 本文介绍了通过使用碱性腐蚀液NH4OH:H2O2:H2O多次次循环腐蚀处理,以及酸性腐蚀液H3PO4:H2O2:H2O快速腐蚀的组合腐蚀方法,对Ge (211)衬底进行生长前处理,能够有效去除GeO2氧化层,人工制备了G...
- 杨春章李艳辉谭英齐航高丽华赵俊李东升
- 关键词：MBE化学腐蚀RHEEDEPDXRD
- 320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究被引量：2
- 2014年
- 报道了分子束外延锗基中波碲镉汞薄膜材料以及320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器研究的初步结果。利用分子束外延技术基于3英寸锗衬底生长的中波碲镉汞薄膜材料,平均宏观缺陷密度低于200 cm-2,平均半峰宽优于90 arcsec,平均腐蚀坑密度低于2.9×106 cm-2;采用标准的二代平面工艺制备的320×256锗基中波碲镉汞红外焦平面探测器,平均峰值探测率达到3.8×1011cm·Hz1/2W-1,平均等效噪音温差优于17.3 mK,非均匀性优于6.5%,有效像元率高于99.7%。
- 赵俊杨玉林李艳辉杨春章谭英齐航韩福忠邢一山王羽王晓璇姬荣斌孔金丞
- 关键词：分子束外延红外焦平面探测器
- 分子束外延锗基碲镉汞薄膜原位砷掺杂研究被引量：2
- 2015年
- 报道了基于Ge衬底分子束外延碲镉汞原位As掺杂材料的研究结果,进行了As掺杂碲镉汞薄膜生长的温度控制研究;分析了As束流对材料晶体质量的影响,结合SIMS测试技术得到了As杂质掺杂浓度与束源炉加热温度的关系;并利用傅里叶红外光谱仪、X射线双晶衍射、EPD检测等手段对晶体质量进行了分析表征,结果显示利用MBE方法可以生长出晶体质量良好、缺陷密度低的碲镉汞薄膜;进一步研究了As杂质的激活退火工艺及不同退火条件对材料电学参数的影响。
- 覃钢李东升李艳辉杨春章周旭昌张阳谭英左大凡齐航
- 关键词：分子束外延碲镉汞退火
- 双色焦平面红外探测器相对光谱串音研究被引量：5
- 2014年
- 提出了一种评价双色探测器的相对光谱串音的模型及测试方法。为验证模型及测试方法的可行性,采用分子束外延锗基叠层异质结构碲镉汞薄膜材料,研制了微台面结构短波/中波双色红外焦平面探测器原理器件,进行了相对光谱串音测试,归纳出3种主要的相对光谱串音模式,并结合材料、器件结构和工艺特点,分析了相对光谱串音的成因。
- 赵俊毛京湘李艳辉杨春章谭英齐航韩福忠邢一山王羽王晓璇姬荣斌孔金丞
- 关键词：红外探测器
