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刘利民

作品数:1 被引量:3H指数:1
供职机构:中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
相关领域:自动化与计算机技术更多>>

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 1篇电阻
  • 1篇溅射
  • 1篇二极管
  • 1篇PT

机构

  • 1篇中国电子科技...

作者

  • 1篇贾京英
  • 1篇何迎辉
  • 1篇谢贵久
  • 1篇景涛
  • 1篇刘利民

传媒

  • 1篇微处理机

年份

  • 1篇2011
1 条 记 录,以下是 1-1
排序方式:
微型薄膜集成氢气敏感器件的研制被引量:3
2011年
采用将类光激发二极管(即N-Si/Thin-SiO2/Thin-Ta/PdCr/Pt结构)、PdCr合金薄膜电阻、Pt加热和感温双电阻温控系统等集成的方式,研制了微型薄膜集成氢气敏感器件,能稳定测量0~2%体积分数的氢气,且具有较快的响应和恢复时间。
谢贵久刘利民何迎辉贾京英景涛
关键词:PT二极管电阻溅射
共1页<1>
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