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刘利民
作品数:
1
被引量:3
H指数:1
供职机构:
中国电子科技集团公司第四十八研究所
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相关领域:
自动化与计算机技术
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合作作者
景涛
中国电子科技集团公司第四十八研...
谢贵久
中国电子科技集团公司第四十八研...
何迎辉
中国电子科技集团公司第四十八研...
贾京英
中国电子科技集团公司第四十八研...
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2011
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微型薄膜集成氢气敏感器件的研制
被引量:3
2011年
采用将类光激发二极管(即N-Si/Thin-SiO2/Thin-Ta/PdCr/Pt结构)、PdCr合金薄膜电阻、Pt加热和感温双电阻温控系统等集成的方式,研制了微型薄膜集成氢气敏感器件,能稳定测量0~2%体积分数的氢气,且具有较快的响应和恢复时间。
谢贵久
刘利民
何迎辉
贾京英
景涛
关键词:
PT
二极管
电阻
溅射
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