贾京英
- 作品数：10 被引量：13H指数：2
- 供职机构：中国电子科技集团公司第四十八研究所更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术一般工业技术电气工程更多>>
- 强流氧离子注入机注入均匀性分析及提高
- 2005年
- 对强流氧离子注入机的注入靶室进行分析探讨,对影响均匀性指标的靶盘结构、束的形状和束扫描注入方式进行研究,结合主体硬件,增加晶片自旋装置和采用新的扫描方式,来提高注入均匀性指标。
- 刘咸成贾京英唐景庭
- 关键词：注入机离子束均匀性SOI
- 太阳能电池测试分选设备运动控制系统设计被引量：4
- 2014年
- 太阳能电池测试分选设备用于晶体硅太阳能电池的性能测试和自动分选。介绍了中国电子科技集团公司第四十八研究所开发的全自动晶体硅太阳能电池测试分选设备的系统构成,重点对该设备的运动控制系统进行描述。在该设备中,以进口可编程控制器(PLC)为核心,通过采用高精度运动控制模块实现对分选机各功能部件的高精度运动控制。
- 唐超凡贾京英王娟颜秀文
- 关键词：太阳能电池运动控制系统
- 一台专用强流氧离子注入机的研制被引量：2
- 2003年
- 制备SOI材料的SIMOX技术因其工艺简单、易控制、重复性好、成本低、易向商业化过渡等优点而引起了SOI材料界更为广泛的关注。SIMOX技术所需要的最关键的设备就是大束流专用氧离子注入机。专用氧离子注入机与常规离子注入机有较大的区别:注氧时间长,注入剂量大,注入过程中要求晶片保持600℃左右的高温,金属污染非常低。本文着重介绍一台专用强流氧离子注入机主要结构单元的研制方法及工艺试验结果分析。
- 唐景庭伍三忠贾京英郭健辉刘咸成
- 关键词：离子源金属污染
- 聚焦离子束工作原理及刻蚀性能研究被引量：1
- 2010年
- 综述了聚焦离子束系统的结构和基本原理,介绍了国产化聚焦离子束系统的结构与特点。基于国产化聚焦离子束系统进行了硅材料刻蚀实验,研究了硅材料刻蚀速率与离子束流大小的关系,建立了刻蚀速率与束流大小的关系方程,进行了硅悬梁微结构刻蚀加工。结果表明,国产聚焦离子束系统可满足硅微悬梁结构加工的应用需要。
- 颜秀文贾京英
- 关键词：聚焦离子束刻蚀速率
- 全自动太阳能电池测试分选设备的研制
- 2011年
- 太阳能电池测试分选设备是晶体硅太阳能电池生产专用设备,可用于太阳能电池转换效率以及电性能参数测量。所有的测量结果可以自动分类,自动保存。该设备在测试系统设计、分选结构设计、步进电机精密驱动、高速数据交换和电气控制等技术方面达到较高水平。该设备具有全自动化,操作简便,测试精确,运行稳定,碎片率低、生产效率高等特点,性能完全可以和国外同类设备相媲美。
- 唐超凡魏唯宁宗娥王学仕王娟贾京英颜秀文
- 关键词：太阳能电池电性能
- 一种双真空室结构磁控溅射台的研制被引量：2
- 2012年
- 本文研制了一种较高档的磁控溅射镀膜设备,用于微电子器件规模化生产过程中的基片表面镀膜。该设备采用双真空室结构,使溅射室始终维持较高的真空度和洁净度,提高镀膜质量和镀膜效率。环绕溅射室设计了3个直流靶和1个射频靶,能够溅射金属膜、介质膜、混合物和化合物薄膜。文中详述了该设备的设计原理、总体结构及工艺控制方法。该磁控溅射台已开发成功并投入使用,替代了同类进口设备。
- 全廷立刘咸成贾京英
- 关键词：磁控溅射射频溅射
- 微型薄膜集成氢气敏感器件的研制被引量：3
- 2011年
- 采用将类光激发二极管（即N-Si/Thin-SiO2/Thin-Ta/PdCr/Pt结构）、PdCr合金薄膜电阻、Pt加热和感温双电阻温控系统等集成的方式,研制了微型薄膜集成氢气敏感器件,能稳定测量0~2%体积分数的氢气,且具有较快的响应和恢复时间。
- 谢贵久刘利民何迎辉贾京英景涛
- 关键词：PT二极管电阻溅射
- 高温离子注入靶盘设计
- 2010年
- 简要介绍了高温离子注入靶室的设计。通过设计辅助加热装置使离子注入时晶片表面温度达到500℃以上,并通过靶盘旋转和往返平移扫描的方式实现了晶片片内和片间的温度均匀性,满足了碳化硅掺杂、SOI晶片制造等特殊需要。
- 颜秀文贾京英刘咸成王慧勇
- 关键词：热分析
- 太阳能电池制造装备现状及发展趋势被引量：1
- 2014年
- 贾京英
- 关键词：装备现状
- 一种氧离子注入的均匀性控制系统设计
- 2012年
- 在SIMOX工艺制作过程中,氧离子注入的均匀性对SOI材料表面硅厚度的均匀性和SiO2埋层厚度的均匀性起着直接的决定性的作用。文章介绍了一种氧离子注入均匀性控制系统的工作原理和设计方案,该方案应用于我所研制的强流氧离子注入机,取得了理想的效果。
- 郭忠君贾京英刘咸成
- 关键词：离子注入SOISIMOX
