王新宇
- 作品数:3 被引量:6H指数:1
- 供职机构:华北光电技术研究所更多>>
- 相关领域:电子电信金属学及工艺更多>>
- MEOMS封装的锗窗金属化结构界面特性研究被引量:1
- 2016年
- 基于微光机电系统对真空封装的要求,采用磁控溅射法在锗窗口上制备不同膜系的金属化结构,研究在相同的热处理条件下,不同膜系结构对锗窗口界面特性的影响。采用俄歇电子能谱分析原子在膜层间和膜基间的扩散行为。采用划痕测试仪分析膜基间的力学性能。结果表明:Ni元素对Au元素的阻挡效果明显,Cr/Ge的界面扩散剧烈。Cr/Ni/Au金属化结构的膜基结合力为14N,优于其他膜系结构,对于提高锗窗膜基结合强度效果最显著。
- 王新宇史梦然
- 关键词:金属化俄歇电子能谱
- InSb光导探测器量子效率研究被引量:4
- 2009年
- 在对InSb光导探测器量子效率理论分析的基础上,提出两种可有效提高量子效率的方法及其实现方法,并给出相关的应用结果。
- 贾宝军张新宇王新宇
- 关键词:锑化铟量子效率抗反射膜湿法腐蚀
- CdS肖特基紫外探测器的研制被引量:1
- 2015年
- 基于微电子平面工艺,采用电子束蒸发Pt方法,制备了基于Cd S材料的肖特基紫外探测器。对该器件的I-V特性、光谱响应率、量子效率等参数进行了测试,结果表明器件具有良好的整流特性,室温零偏压下光谱响应范围250~500 nm,在500 nm波长处达到最大光谱响应率0.285 A/W,量子效率为75.3%。并根据热电子发射理论对测试结果进行了计算得到理想因子为1.024,肖特基势垒高度为0.859 e V。
- 李忠贺王新宇李海燕
- 关键词:硫化镉肖特基势垒紫外探测器