董旭坤
- 作品数：2 被引量：4H指数：1
- 供职机构：重庆光电技术研究所更多>>
- 相关领域：电子电信一般工业技术更多>>
- 平面玻璃窗口片光学表面零级疵病抛光工艺研究被引量：4
- 2013年
- 总结了窗口片的抛光工艺现状,对玻璃窗口片的研磨、抛光和清洗原理及主要工艺因素进行了详细的分析。在考虑磨料、抛光辅料、环境、清洗工艺、抛光液浓度及pH值、磨盘转速、压力等多种工艺条件的基础上,进行了多次实验,并对抛光工艺改进前后的窗口片表面进行了扫描电镜(SEM)检测。结果表明,使用新抛光工艺加工的窗口片表面粗糙度、擦痕等微观缺陷明显得到改善,零级表面疵病标准的成品率达到23%。
- 袁礼华许健董旭坤
- 关键词：表面疵病研磨抛光超声波清洗
- 磁控溅射工艺参数对金属薄膜性能的影响
- 2022年
- 溅射金属化技术由于其金属层附着力好,金属化层致密度高,是当前金属化工艺的主要方式。本文采用直流磁控溅射技术在蓝宝石基片表面制备Cr-Ni-Au结构的金属化复合薄膜,从理论和实验上研究分析了磁控溅射工艺参数对薄膜性能的影响;采用AFM、SEM等对膜层进行微观形貌及成膜质量的分析。研究表明:当本底真空度≥3×10-4Pa,基片温度为常温,Au的溅射功率为300W,溅射气压0.20Pa,热处理温度200℃时,蓝宝石上沉积的铬镍金复合膜层有较好结合力,且低温焊接性能良好。
- 董旭坤陈昌隆张胜南袁中朝袁礼华
- 关键词：磁控溅射金属薄膜工艺参数附着力
