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谢学武
作品数:
2
被引量:5
H指数:1
供职机构:
中国科学技术大学物理学院物理系
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发文基金:
安徽省自然科学基金
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相关领域:
理学
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合作作者
张五堂
中国科学技术大学物理学院物理系
傅竹西
中国科学技术大学物理学院物理系
廖源
中国科学技术大学物理学院物理系
余庆选
中国科学技术大学物理学院物理系
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氧化锌薄膜
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退火
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退火过程
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作者
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谢学武
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2010
1篇
2009
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ZnO薄膜的溶胶凝胶法制备工艺及其性能的研究
氧化锌/(ZnO/)是一种直接带隙宽禁带/(3.37eV/)II-VI族化合物半导体材料,具有较大的激子束缚能/(60meV /),可以在室温下实现紫外光的受激发射,为短波长发光器件和激光器应用提供了广阔的发展前景。Zn...
谢学武
关键词:
氧化锌薄膜
溶胶凝胶法
光学性质
文献传递
退火过程对c轴择优取向的ZnO薄膜光学性质的影响
被引量:1
2010年
利用溶胶凝胶法在石英衬底上采用旋涂法制备出ZnO薄膜,通过X射线衍射仪发现不同的退火温度对ZnO薄膜的择优取向有很大影响;通过紫外可见分光光度计和室温发光谱可以看出,制备的薄膜有很好的光学透过性和很强的紫外发光特性,而不同的退火温度对其光学性质有很大的影响。实验发现采用此种方法在650℃左右退火是一个合适的退火温度,结构特性和光学性质都相对较好;采用热分析方法可知ZnO将在375℃左右从非晶转向结晶状态,因而在常规ZnO薄膜制备方法中增加一步500℃的热处理将有助于提高ZnO薄膜的结晶质量。
谢学武
廖源
张五堂
余庆选
傅竹西
关键词:
溶胶凝胶法
ZNO薄膜
退火
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