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刘恩光

作品数：7 被引量：2H指数：1
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：上海市教育委员会创新基金教育部“新世纪优秀人才支持计划”更多>>
相关领域：动力工程及工程热物理更多>>

合作作者

文献类型

  • 6篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 1篇动力工程及工...

主题

  • 4篇热管
  • 4篇键合
  • 4篇硅片
  • 3篇换热
  • 2篇哑铃形
  • 2篇输入输出
  • 2篇体硅
  • 2篇强化换热
  • 2篇亲疏
  • 2篇热沉
  • 2篇热元件
  • 2篇钻孔工艺
  • 2篇微槽
  • 2篇微型热管
  • 2篇铝硅
  • 2篇氯硅烷
  • 2篇脉动热管
  • 2篇功能表
  • 2篇硅片表面
  • 2篇硅片键合

机构

  • 7篇上海交通大学

作者

  • 7篇吴慧英
  • 7篇刘恩光
  • 4篇郑平
  • 2篇屈健
  • 2篇屈容健
  • 1篇唐慧敏

传媒

  • 1篇化工学报

年份

  • 4篇2009
  • 2篇2008
  • 1篇2007
共 7 条 记 录，以下是 1-7
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排序方式：
具有功能表面的微型热管阵列芯片的制备方法
本发明涉及一种具有功能表面的微型热管阵列芯片的制备方法，利用MEMS(微机电加工系统)技术制造硅三角型微槽阵列，然后将预先配制好的烷基三氯硅烷的乙醇溶液沿槽长度方向浸润槽道，使乙醇溶液依次通过蒸发段、绝热段和冷凝段，因槽...
吴慧英屈健刘恩光
文献传递
微型硅基内肋管内的流动与换热特性被引量：2
2009年
目前内肋管强化换热研究大多基于铜、铝或者不锈钢等常规材质,其加工精度和加工尺寸均受到限制。本文采用MEMS工艺首次在硅片上制作成带有方形内肋的平行硅基微通道,并对其内部流动和换热特性进行了实验研究,结果表明:在通道深度和宽度相同的情况下,肋高和肋间距对工质在通道内的流动阻力和换热特性有显著的影响;微通道内加肋以后,通道内的流动阻力和换热性能有不同程度的增加,且提高程度与肋高和肋间距有关;通过合理的设计肋高和肋间距,可以起到明显的强化换热作用。结果还显示,进口段效应对硅基微通道内的流动和换热影响较为显著。
刘恩光吴慧英唐慧敏
关键词：换热
集成微热沉系统及其制备方法
本发明涉及一种集成微热沉系统及其制备方法，由玻璃片和硅片键合而成，在硅片的一个面上加工有均匀平行分布的微型冷却通道，另一面的氧化膜层上与微型冷却通道对应的区域中，纵向布置若干组微型测温元件和微型发热元件，每组元件均横向均...
吴慧英郑平刘恩光
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集成微热沉系统及其制备方法
本发明涉及一种集成微热沉系统及其制备方法，由玻璃片和硅片键合而成，在硅片的一个面上加工有均匀平行分布的微型冷却通道，另一面的氧化膜层上与微型冷却通道对应的区域中，纵向布置若干组微型测温元件和微型发热元件，每组元件均横向均...
吴慧英郑平刘恩光
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集成脉动芯片热管制备方法
本发明涉及一种集成脉动芯片热管及其制备方法，集成脉动芯片热管由一对经阳极扩散焊接工艺键合在一起的硼硅酸玻璃和半导体硅片构成，其中，与硼硅酸玻璃接触的硅片表面经清洗、抛光处理后，再进行氧化反应生成氧化膜层，然后采用红外双面...
吴慧英屈容健刘恩光郑平
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集成脉动芯片热管及其制备方法
本发明涉及一种集成脉动芯片热管及其制备方法，集成脉动芯片热管由一对经阳极扩散焊接工艺键合在一起的硼硅酸玻璃和半导体硅片构成，其中，与硼硅酸玻璃接触的硅片表面经清洗、抛光处理后，再进行氧化反应生成氧化膜层，然后采用红外双面...
吴慧英屈容健刘恩光郑平
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具有功能表面的微型热管阵列芯片的制备方法
本发明涉及一种具有功能表面的微型热管阵列芯片的制备方法，利用MEMS(微机电加工系统)技术制造硅三角形微槽阵列，然后将预先配制好的烷基三氯硅烷的乙醇溶液沿槽长度方向浸润槽道，使乙醇溶液依次通过蒸发段、绝热段和冷凝段，因槽...
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