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屈容健
作品数:
2
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供职机构:
上海交通大学
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合作作者
刘恩光
上海交通大学
郑平
上海交通大学
吴慧英
上海交通大学
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半导体硅片
机构
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上海交通大学
作者
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吴慧英
2篇
屈容健
2篇
郑平
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刘恩光
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1篇
2009
1篇
2008
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集成脉动芯片热管制备方法
本发明涉及一种集成脉动芯片热管及其制备方法,集成脉动芯片热管由一对经阳极扩散焊接工艺键合在一起的硼硅酸玻璃和半导体硅片构成,其中,与硼硅酸玻璃接触的硅片表面经清洗、抛光处理后,再进行氧化反应生成氧化膜层,然后采用红外双面...
吴慧英
屈容健
刘恩光
郑平
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集成脉动芯片热管及其制备方法
本发明涉及一种集成脉动芯片热管及其制备方法,集成脉动芯片热管由一对经阳极扩散焊接工艺键合在一起的硼硅酸玻璃和半导体硅片构成,其中,与硼硅酸玻璃接触的硅片表面经清洗、抛光处理后,再进行氧化反应生成氧化膜层,然后采用红外双面...
吴慧英
屈容健
刘恩光
郑平
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