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屈容健

作品数：2 被引量：0H指数：0
供职机构：上海交通大学更多>>

合作作者

文献类型

  • 2篇中文专利

主题

  • 2篇体硅
  • 2篇强化换热
  • 2篇热管
  • 2篇钻孔工艺
  • 2篇脉动热管
  • 2篇换热
  • 2篇键合
  • 2篇硅片
  • 2篇硅片表面
  • 2篇半导体
  • 2篇半导体硅
  • 2篇半导体硅片

机构

  • 2篇上海交通大学

作者

  • 2篇吴慧英
  • 2篇屈容健
  • 2篇郑平
  • 2篇刘恩光

年份

  • 1篇2009
  • 1篇2008
共 2 条 记 录，以下是 1-2
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排序方式：
集成脉动芯片热管制备方法
本发明涉及一种集成脉动芯片热管及其制备方法，集成脉动芯片热管由一对经阳极扩散焊接工艺键合在一起的硼硅酸玻璃和半导体硅片构成，其中，与硼硅酸玻璃接触的硅片表面经清洗、抛光处理后，再进行氧化反应生成氧化膜层，然后采用红外双面...
吴慧英屈容健刘恩光郑平
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集成脉动芯片热管及其制备方法
本发明涉及一种集成脉动芯片热管及其制备方法，集成脉动芯片热管由一对经阳极扩散焊接工艺键合在一起的硼硅酸玻璃和半导体硅片构成，其中，与硼硅酸玻璃接触的硅片表面经清洗、抛光处理后，再进行氧化反应生成氧化膜层，然后采用红外双面...
吴慧英屈容健刘恩光郑平
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