闫坤坤
- 作品数：13 被引量：5H指数：2
- 供职机构：中国科学院微电子研究所更多>>
- 发文基金：国家科技重大专项国家自然科学基金更多>>
- 相关领域：一般工业技术金属学及工艺理学更多>>
- 一种等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法
- 本发明提供了一种等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法，包括如下步骤：步骤(1)，将碳化硼粉和碳粉均匀混合，将混合后的粉末送入等离子体喷涂设备；步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过所述等离子体喷涂设备在所述...
- 王文东黄春闫坤坤夏洋
- 文献传递
- 一种碳化硼-碳化硅复合涂层的制备方法
- 本发明涉及大气等离子喷涂技术领域，具体涉及一种碳化硼-碳化硅复合涂层的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：将碳化硼粉末与碳化硅粉末混合均匀，并将混合后的粉末送入等离子喷涂设备；使用丙酮或酒精对待喷涂的基材表面进行清洗；...
- 王文东闫坤坤黄春
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- 大气等离子喷涂氧化钇涂层的相结构及表面形貌被引量：2
- 2013年
- 采用大气等离子喷涂方法分别以Ar/H2和Ar/He作为工作气体在铝基体上制备氧化钇涂层。采用扫描电镜、X射线衍射仪和X射线光电子能谱仪对涂层的成分及结构进行了分析。结果表明,以氢气为辅助气体制备的氧化钇涂层,涂层中有少许立方相转变为单斜相。喷涂距离小于120 mm时,涂层表面出现黑色斑点。经700℃以上退火,黑色斑点减少并消失。而使用氦气作为辅助气体,可以得到纯正白色的单一相结构的氧化钇涂层,但由于氦气热焓值相对于氢气低,氧化钇颗粒未完全熔融,涂层不致密。
- 闫坤坤黄春王文东裘爱华赵嵩卿夏洋
- 关键词：大气等离子喷涂相结构表面形貌
- 一种大气等离子喷涂技术制备非晶Y<Sub>3</Sub>Al<Sub>5</Sub>O<Sub>12</Sub>涂层的方法
- 本发明公开一种大气等离子体喷涂技术制备非晶Y<Sub>3</Sub>Al<Sub>5</Sub>O<Sub>12</Sub>涂层的方法，属于等离子喷涂技术领域。所述方法，包括如下步骤：步骤(1)，将Al<Sub>2</S...
- 王文东黄春闫坤坤夏洋
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- 一种等离子喷涂技术制备碳化硼涂层的方法
- 本发明涉及半导体设备中防蚀处理技术领域，具体涉及一种等离子喷涂技术制备碳化硼涂层的方法。所述方法，包括如下步骤：将碳化硼粉末与聚乙烯粉末或酚醛树脂粉末混合均匀，并将混合后的粉末送入等离子喷涂设备；对待喷涂的铝基材的刻蚀工...
- 王文东闫坤坤黄春
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- 一种等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法
- 本发明提供了一种等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法，包括如下步骤：步骤(1)，将碳化硼粉和碳粉均匀混合，将混合后的粉末送入等离子体喷涂设备；步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过所述等离子体喷涂设备在所述...
- 王文东黄春闫坤坤夏洋
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- PLD制备Mn掺杂ZnO薄膜的光学性能和快速红外光伏响应研究
- 2013年
- 使用脉冲激光沉积(PLD)方法在融石英基底上生长不同Mn掺杂量的ZnO薄膜。XRD测试表明,Mn掺杂的ZnO薄膜为六方纤锌矿结构,具有明显的(002)方向择优生长,Mn2+以取代原子的形式存在于ZnO薄膜中,Mn2+掺入后导致了晶格膨胀。薄膜吸收光谱的测试显示出Mn的掺杂改变了ZnO薄膜的禁带宽度,从而改变了ZnO薄膜对光的吸收能力。薄膜具有快速响应的红外光伏效应,其红外光伏信号随激光能量的增加而线性增大,随Mn掺杂量的增多也增大。
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- 关键词：PLD
- 喷涂工艺参数对Y_2O_3飞行粒子状态及涂层性能的影响被引量：3
- 2013年
- 使用大气等离子喷涂方法制备氧化钇涂层并进行结构和形貌表征。结果表明,喷涂后,Y2O3涂层基本保持Y2O3粉末的单一立方相结构,仅有少量向单斜相发生转变,Y2O3粉末充分熔融,仅有极少数未熔颗粒。利用AccuraSpray-g3在线监测系统对不同喷涂参数条件下Y2O3飞行粒子的速度和温度进行监测发现,通过改变电流和电压调节功率的效果不同:增大电流时,Y2O3粒子的速度、温度均有提升;增大电压时,Y2O3粒子的速度得到提升,温度反而有所降低。相比于普通90°角外送粉方式,75°角外送粉方式主要提高了粒子的温度,速度无显著变化;而内送粉方式则主要提高了粒子的速度,温度无显著变化。受Y2O3飞行粒子的状态和热传递时间等综合因素的影响,Y2O3涂层与Al基底的结合强度随喷涂距离的增大呈现先提高后降低的特点,在180 mm处出现极大值。
- 黄春闫坤坤王文东赵嵩卿
- 关键词：大气等离子喷涂
- 一种反应等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法
- 本发明提供了一种反应等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法，包括如下步骤：步骤(1)，选取碳化硼粉，并将碳化硼粉送入等离子体喷涂设备；步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过反应等离子体喷涂设备在所述基材表面进...
- 王文东闫坤坤黄春刘邦武夏洋
- 文献传递
- 一种反应等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法
- 本发明提供了一种反应等离子喷涂制备碳化硼涂层的方法，包括如下步骤：步骤(1)，选取碳化硼粉，并将碳化硼粉送入等离子体喷涂设备；步骤(2)，对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，通过反应等离子体喷涂设备在所述基材表面进...
- 王文东闫坤坤黄春刘邦武夏洋
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