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徐明升
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75
被引量:11
H指数:3
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山东大学
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徐现刚
山东浪潮华光光电子股份有限公司
韩吉胜
山东大学
崔鹏
山东大学
李树强
山东大学
陈秀芳
山东大学
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高分辨X射线衍射表征氮化镓外延层缺陷密度
被引量:4
2015年
利用高分辨X射线衍射方法,分析了在4H-Si C(0001)面上采用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)生长的Ga N薄膜的位错。采用对称面衍射和斜对称面衍射等方法研究了晶面倾转角、面内扭转角、晶粒尺寸和晶面弯曲半径等参数,通过排除仪器、晶粒尺寸及晶面弯曲对摇摆曲线半高宽的影响,从而获得Ga N薄膜的螺位错密度和刃位错密度分别为4.62×107 cm-2和5.20×109 cm-2,总位错密度为5.25×109 cm-2。
崔潆心
徐明升
徐现刚
胡小波
关键词:
氮化镓薄膜
高分辨X射线衍射
位错密度
一种海洋防生物附着紫外光源及其制备方法
本发明涉及一种海洋防生物附着紫外光源及其制备方法,包括外壳,外壳内部设置有相连接的电路板和电池,外壳的前端设置有紫外LED灯并通过保护罩封装在外壳前端,紫外LED灯与电路板电连接,外壳上连接有固定用的夹具。本发明海洋防生...
徐现刚
肖龙飞
徐明升
陈秀芳
文献传递
一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置
本发明涉及一种适用于低压力化学气相沉积法的石英装置,包括横向的圆柱形的石英舟外壳,石英舟外壳内部从右向左依次竖向设置有第一隔板、第二隔板和第三隔板,第三空腔内中心设置有横向圆柱形的鼠笼舟,鼠笼舟的圆周面上均匀设置有若干通...
徐明升
贾垂邦
陈晓华
韩吉胜
徐现刚
一种基于ScAlN介质层的InAlN/GaN MIS-HEMT及其制备方法
本发明涉及一种基于ScAlN介质层的InAlN/GaN MIS‑HEMT及其制备方法,该结构包括自下而上依次设置的衬底、GaN缓冲层、InGaN背势垒层、GaN沟道层、AlN插入层、InAlN势垒层、GaN帽层和ScAl...
崔鹏
陈思衡
韩吉胜
徐现刚
林兆军
展杰
徐明升
崔潆心
钟宇
一种海洋防生物附着紫外光源
本实用新型涉及一种海洋防生物附着紫外光源,包括外壳,外壳内部设置有相连接的电路板和电池,外壳的前端设置有紫外LED灯并通过保护罩封装在外壳前端,紫外LED灯与电路板电连接,外壳上连接有固定用的夹具。本实用新型海洋防生物附...
徐现刚
肖龙飞
徐明升
陈秀芳
文献传递
一种倒装GaN基HEMT-LED集成器件及其制备方法
本发明涉及一种倒装GaN基HEMT‑LED集成器件,自上而下依次包括衬底、缓冲层,缓冲层的下表面一部分设置有N型导电层,另一部分设置有氮化镓(GaN)沟道层,在N型导电层的下表面自上而下依次包括多量子阱有源区、P型导电层...
徐明升
王晓敏
葛磊
文献传递
LED多光谱治疗系统
本实用新型涉及一种LED多光谱治疗系统,包括可调支架,可调支架顶部设置有可发出多波长光的LED光源组件,LED光源组件电连接有用以驱动LED光源组件发光的驱动电路模块、用以控制LED光源组件的发光功率、发光波长、发光时间...
徐明升
王心旭
文献传递
LED多光谱治疗系统
本发明涉及一种LED多光谱治疗系统,包括可调支架,可调支架顶部设置有可发出多波长光的LED光源组件,LED光源组件电连接有用以驱动LED光源组件发光的驱动电路模块、用以控制LED光源组件的发光功率、发光波长、发光时间的控...
徐明升
王心旭
文献传递
一种倒装GaN基HEMT-LED集成器件
本实用新型涉及一种倒装GaN基HEMT‑LED集成器件,自上而下依次包括衬底、缓冲层,缓冲层的下表面一部分设置有N型导电层,另一部分设置有氮化镓(GaN)沟道层,在N型导电层的下表面自上而下依次包括多量子阱有源区、P型导...
徐明升
王晓敏
葛磊
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一种在氮化镓衬底上二次生长氧化镓的方法
本发明涉及一种在氮化镓衬底上制备氧化镓薄膜的方法,该方法第一步热氧化氮化镓衬底制备氧化镓薄膜,第二步在低压化学气相沉积设备中在热氧化后的衬底上进行二次生长。MOCVD在蓝宝石衬底上生长的(002)面氮化镓为衬底,热氧化方...
徐明升
滕达
孙振
葛磊
徐现刚
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