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韩吉胜
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徐现刚
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半导体器件和半导体器件的制造方法
本发明公开了一种半导体器件和半导体器件的制造方法,属于半导体器件领域,包括:半导体衬底;第一半导体层;第二半导体层;栅沟槽;伪深沟槽;绝缘层;栅极;第一包裹半导体区域;第二包裹半导体区域;由碳化硅制成的第一半导体区域,具...
汉多科·林纳威赫
韩吉胜
崔鹏
徐明升
钟宇
崔潆心
徐现刚
李树强
一种版图结构、半导体器件和其制造方法
本发明公开了一种版图结构、半导体器件和其制造方法,属于半导体器件技术领域,传统沟槽MOSFET承受高击穿电压的可靠性低,本发明在传统沟槽MOSFET器件结构之上进行改进,栅极氧化层和沟槽MPS的角落都被包裹在高掺杂浓度的...
汉多科·林纳威赫
陈曦冉
韩吉胜
崔鹏
徐现刚
一种增强型GaN HEMT器件结构和制造方法
本发明涉及一种增强型GaN HEMT器件结构和制造方法,属于半导体技术领域。该增强型GaN HEMT包含衬底、过渡层、沟道层、势垒层、栅结构和源漏欧姆接触金属电极。器件栅极部分自下而上分别包括势垒层上的P‑型GaN栅极材...
崔鹏
汉多科·林纳威赫
韩吉胜
徐现刚
一种基于激光退火工艺的氮化镓HEMT及其制备方法
本发明属于半导体器件技术领域,具体涉及一种基于激光退火工艺的氮化镓HEMT及其制备方法。本发明使用激光选区退火,可以同时生长源极、漏极、栅极金属,防止源极和漏极退火后杂质被栅极覆盖导致欧姆性能下降,使氮化镓HEMT具有低...
徐现刚
韩吉胜
崔鹏
一种基于SiC衬底的耐高温高性能CMOS及其制备方法
本发明涉及一种基于SiC衬底的耐高温高性能CMOS及其制备方法,属于微电子技术领域,通过在同一SiC衬底上制备出SiC N型沟道MOS管和GaN P型沟道MOS管,并将它们串联,在SiC衬底上制备出耐高温高性能CMOS,...
崔鹏
李汉和
徐明升
崔潆心
钟宇
李树强
韩吉胜
徐现刚
一种外延层非均匀分布的碳化硅SBD器件及其制作方法
本发明公开了一种外延层非均匀分布的碳化硅SBD器件及其制作方法,其涉及器件设计技术领域。包括:4H‑SiC衬底层的上表面沉积所述N型SiC外延层,所述N型SiC外延层表面上的一侧沉积P型SiC外延层;所述P型SiC外延层...
韩吉胜
王新宇
汉多科·林那威赫
崔潆心
徐现刚
一种高击穿电压增强型氮化镓器件及其制备方法
本发明涉及一种高击穿电压增强型氮化镓器件及其制备方法,属于微电子晶体管研究技术领域,包括衬底以及位于衬底上的AlN成核层、无掺杂GaN缓冲层、AlN插层、AlGaN势垒层、无掺杂GaN层,AlGaN势垒层上方左侧为第一p...
崔鹏
代嘉铖
汉多科•林纳威赫
崔潆心
钟宇
徐明升
韩吉胜
李树强
徐现刚
一种改善短路能力的SiC MOSFET器件
本发明提供了一种改善短路能力的SiC MOSFET器件,属于碳化硅(SiC)功率器件技术领域,提出了一种具有分段渐变掺杂外延结构的垂直平面SiC MOSFET器件,其漂移层自上而下分为第一漂移层、第二漂移层和第三漂移层,...
汉多科·林纳威赫
刘世杰
韩吉胜
崔鹏
徐现刚
一种基于ScAlN介质层的InAlN/GaN MIS-HEMT及其制备方法
本发明涉及一种基于ScAlN介质层的InAlN/GaN MIS‑HEMT及其制备方法,该结构包括自下而上依次设置的衬底、GaN缓冲层、InGaN背势垒层、GaN沟道层、AlN插入层、InGaN势垒层、GaN帽层和ScAl...
崔鹏
陈思衡
韩吉胜
徐现刚
林兆军
展杰
徐明升
崔潆心
钟宇
具有氟基气体处理AlN帽层的氮化镓HEMT器件及其制备方法
本发明属于半导体器件领域,具体涉及具有氟基气体处理AlN帽层的氮化镓HEMT器件及其制备方法。在SiC衬底上依次生长AlN成核层、GaN缓冲层、AlN插入层、AlGaN势垒层和AlN帽层,形成薄膜结构;对薄膜结构进行台面...
崔鹏
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韩吉胜
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