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戴福彦

作品数：14 被引量：9H指数：1
供职机构：上海交通大学更多>>
发文基金：国家自然科学基金国防科技技术预先研究基金更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电气工程航空宇航科学技术更多>>

合作作者

文献类型

  • 10篇专利
  • 3篇期刊文章
  • 1篇学位论文

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇电气工程
  • 1篇航空宇航科学...

主题

  • 11篇陀螺
  • 10篇微陀螺
  • 9篇磁悬浮
  • 8篇电极
  • 6篇电晕
  • 5篇微加工
  • 4篇振动
  • 4篇微机电技术
  • 3篇转子
  • 2篇电磁
  • 2篇电磁力
  • 2篇电势
  • 2篇硬磁
  • 2篇转速
  • 2篇转速检测
  • 2篇微机电系统
  • 2篇静电
  • 2篇静电力
  • 2篇机电系统
  • 2篇加速度

机构

  • 14篇上海交通大学

作者

  • 14篇戴福彦
  • 13篇陈文元
  • 13篇张卫平
  • 10篇刘凯
  • 10篇刘武
  • 6篇吴校生
  • 6篇崔峰
  • 3篇刘凯
  • 2篇张忠榕
  • 1篇李凯
  • 1篇肖奇军
  • 1篇马高印

传媒

  • 1篇微电机
  • 1篇传感技术学报
  • 1篇微细加工技术

年份

  • 2篇2011
  • 5篇2010
  • 6篇2009
  • 1篇2008
共 14 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
硬磁悬浮振动微陀螺
本发明涉及一种微机电技术领域的硬磁悬浮振动微陀螺，包括硬磁悬浮振子、上定子、下定子、铁芯线圈阵列、位移检测电极，硬磁悬浮振子放置在上定子、下定子之间，位移检测电极环绕分布在硬磁悬浮振子的周围的同一个平面内，铁芯线圈阵列分...
张卫平戴福彦陈文元刘凯
文献传递
反磁悬浮微马达研究
基于MEMS技术的微陀螺具有体积小、重量轻、价格低、寿命长和易于批量生产等诸多优点,有望部分取代传统陀螺。然而目前普遍精度较低的现实制约了其在高端领域的应用。由于工艺、检测电路等条件的限制,国内微陀螺的精度更是与国外有较...
戴福彦
关键词：MEMS微马达微加工工艺
文献传递
反磁悬浮和电晕驱动旋转的微陀螺
本发明涉及一种利用反磁悬浮转子电晕驱动旋转的微陀螺，包括上下定子、微转子、周边结构、齿形结构构成一个笼式结构。定子包括轴向悬浮检测电极、定子圆柱形永磁体，和多个环形永磁体，定子固联在衬底上。反磁转子和上下定子产生的相互作...
张卫平刘凯陈文元刘武戴福彦吴校生崔峰
文献传递
静电悬浮电晕驱动旋转微陀螺
本发明涉及一种利用静电悬浮电晕驱动旋转的微陀螺，本发明包括上下定子、微转子、周边结构构成一个笼式结构，转子置于这个笼式结构的中间。定子包括旋轴向悬浮和检测电极、公共电极。定子固联在衬底上。由于静电力的作用，微转子悬浮在上...
张卫平刘凯陈文元刘武戴福彦吴校生崔峰
文献传递
反磁悬浮振动微陀螺
本发明涉及一种微机电技术领域的反磁悬浮振动微陀螺，包括反磁悬浮振子、上定子、下定子、水平检测驱动电极，上定子包括上极板、上永磁体块，下定子包括下极板、下永磁体块，水平检测驱动电极环绕分布在反磁悬浮振子的周围的同一个平面内...
张卫平戴福彦陈文元刘武刘凯
文献传递
利用电磁和电晕工作的悬浮转子微陀螺
本发明涉及一种利用电磁和电晕作用工作的悬浮转子微陀螺，由上下定子、微转子、周边结构、齿形结构构成一个笼式结构。定子包括公共电极、轴向悬浮检测电极、第一个悬浮稳定线圈、第二个悬浮稳定线圈，定子固联在衬底上。微转子在电磁力的...
张卫平刘凯陈文元刘武戴福彦崔峰吴校生
文献传递
反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究被引量：1
2008年
介绍的一种反磁悬浮涡流旋转微陀螺的定子研究。利用现有实验设备,通过多次实验摸索,找到了一条实现反磁悬浮涡流旋转微陀螺下定子合理的工艺路径,并进行了测试,测试显示定子结构完整正常。
刘凯张卫平陈文元刘武李凯戴福彦
关键词：微陀螺
硬磁悬浮振动微陀螺
本发明涉及一种微机电技术领域的硬磁悬浮振动微陀螺，包括硬磁悬浮振子、上定子、下定子、铁芯线圈阵列、位移检测电极，硬磁悬浮振子放置在上定子、下定子之间，位移检测电极环绕分布在硬磁悬浮振子的周围的同一个平面内，铁芯线圈阵列分...
张卫平戴福彦陈文元刘凯
文献传递
反磁悬浮和电晕驱动旋转的微陀螺
本发明涉及一种利用反磁悬浮转子电晕驱动旋转的微陀螺，包括上下定子、微转子、周边结构、齿形结构构成一个笼式结构。定子包括轴向悬浮检测电极、定子圆柱形永磁体，和多个环形永磁体，定子固联在衬底上。反磁转子和上下定子产生的相互作...
张卫平刘凯陈文元刘武戴福彦吴校生崔峰
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静电悬浮电晕驱动旋转微陀螺
本发明涉及一种利用静电悬浮电晕驱动旋转的微陀螺，本发明包括上下定子、微转子、周边结构构成一个笼式结构，转子置于这个笼式结构的中间。定子包括旋轴向悬浮和检测电极、公共电极。定子固联在衬底上。由于静电力的作用，微转子悬浮在上...
张卫平刘凯陈文元刘武戴福彦吴校生崔峰
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