段冰
- 作品数:6 被引量:20H指数:2
- 供职机构:西安理工大学材料科学与工程学院更多>>
- 发文基金:国家高技术研究发展计划陕西省教育厅科研计划项目安徽省高校省级自然科学研究项目更多>>
- 相关领域:机械工程金属学及工艺理学更多>>
- 石墨靶电流对类石墨镀层摩擦性能的影响被引量:2
- 2007年
- 用非平衡磁控溅射离子镀技术制备含铬类石墨镀层,研究了石墨靶电流对磁控溅射法制备类石墨镀层摩擦性能的影响。通过扫描电镜、原子力显微镜、透射电镜等分析了镀层的表面形貌与组织。结果表明:所制备镀层的硬度随着石墨靶电流的升高而增加;镀层的摩擦系数和比磨损率随靶电流的增大呈现先降后升的趋势;扫描电镜和原子力显微镜图片分析表明镀层表面呈典型的岛团状聚集态,且随着石墨靶电流增大,镀层表面岛团状尺寸变大、镀层表面粗糙度随之增大。用高分辨透射电镜分析显示:靶电流较小时碳层中出现Cr元素富集区,随着石墨靶电流的增大,表面层中的Cr弥散分布。
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- 关键词:非平衡磁控溅射
- 掺铬类石墨薄膜摩擦学性能研究被引量:1
- 2007年
- 采用非平衡磁控溅射离子镀技术,以电流控制方式在高速钢和硅基底上制备了不同Cr含量的C/Cr类石墨薄膜,测量了类石墨膜的显微硬度、膜基结合强度、摩擦系数和比磨损率,分析了薄膜的相结构,观察了薄膜的表面和断面形貌。结果表明:所制备的类石墨薄膜随Cr含量的增高,硬度逐渐降低,结合强度先增后降,摩擦系数和比磨损率则先降后升;类石墨膜是含有多种纳米晶的非晶结构;金属元素Cr含量影响了类石墨碳膜的表面形貌和组织结构。当Cr含量在0.5%~2.5%时,薄膜表面光滑而结构致密,摩擦系数小且比磨损率低,膜基结合强度高,具有良好减摩耐磨性能。
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- 关键词:摩擦学性能非平衡磁控溅射显微硬度
- 非平衡磁控溅射CrTiAlN镀层摩擦学性能分析被引量:10
- 2006年
- 为探讨C rT iA lN镀层高硬度、低磨损机理,应用UDP850/4镀层设备,在高速钢和单晶硅基体上制备了C rT iA lN复合镀层,并测试了其力学性能和摩擦学性能,采用XRD、SEM、TEM等手段对镀层微观组织结构进行了分析。结果表明:在75 V负偏压下沉积的镀层具有显微硬度高、摩擦系数小,磨损率低,膜/基结合和韧性良好;镀层由C rN、T iN、A lN、C r2N和T i2N等纳米晶组成;纳米晶粒弥散于非晶的结构是硬度增强的机理;良好的膜基结合、韧性好和低摩擦系数是镀层具有低磨损的原因。
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- 关键词:非平衡磁控溅射显微硬度摩擦磨损性能
- 基体偏压对CrTiAlN镀层摩擦磨损性能的影响被引量:1
- 2007年
- 应用闭合场非平衡磁控溅射离子镀技术在高速钢和单晶硅基体上制备了一组随基体偏压变化的CrTiAlN梯度镀层,并测试了其摩擦学性能。结果表明,随偏压的增大,镀层的厚度、硬度、膜基结合强度和耐磨性能表现出先升后降、摩擦系数较低、具有良好的韧性;在-75 V左右偏压下沉积的镀层具有最佳的综合性能。通过XRD、SEM的分析表明,由CrN、TiN、AlN、Cr和Ti2N等微晶组成的复合镀层,晶粒细小,属于纳米级颗粒,从而使镀层具有良好的摩擦学性能。
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- 关键词:显微硬度摩擦磨损性能
- 石墨靶电流对磁控溅射类石墨镀层结构与性能的影响
- 为研究石墨靶电流对类石墨镀层结构与性能的影响规律,本文采用磁控溅射技术在不同的石墨靶电流下制备了类石墨镀层,采用扫描电子显微镜、原子力显微镜、透射电子显微镜、X-射线衍射仪、X-射线光电子能谱仪、激光拉曼分析仪对镀层组织...
- 段冰
- 关键词:磁控溅射
- 文献传递
- Cr含量对掺铬类石墨镀层摩擦学性能的影响被引量:5
- 2008年
- 采用4靶非平衡磁控溅射离子镀技术,在高速钢和硅基体上制备出不同Cr含量的掺铬类石墨镀层,研究了类石墨镀层的显微硬度、摩擦系数和比磨损率,分析了Cr含量对镀层的表面、断面形貌及微观结构的影响。结果表明,随Cr含量的增加,类石墨镀层硬度逐渐降低;摩擦系数和比磨损率先降后升;镀层由非晶逐步变成有择优生长趋势的纳米晶与非晶混合多层结构。当Cr含量在2wt%~10wt%时,镀层表面光滑而结构致密,镀层C、Cr成分均匀分布,硬度为19.8~21.4GPa,最小的摩擦系数为0.045和最低比磨损率1.32×10-16m3/N.m,具有良好的减摩耐磨性能。
- 严少平蒋百灵段冰
- 关键词:摩擦学性能非平衡磁控溅射