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曾庆光

作品数：1 被引量：2H指数：1
供职机构：中国科学院上海冶金研究所更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇半导体
  • 1篇半导体器件
  • 1篇C-

机构

  • 1篇中国科学院上...

作者

  • 1篇何德湛
  • 1篇闵靖
  • 1篇曾庆光

传媒

  • 1篇半导体技术

年份

  • 1篇1994
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
半导体工艺线上的C－t检测及其应用被引量：2
1994年
本文主要介绍在半导体工艺线上对有关工艺进行Ｃ－ｔ检测及应用，结果表明这对提高工艺质量及产品成品率是重要的。
何德湛闵靖曾庆光
关键词：半导体器件
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共1页<1>
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