赵守仁
- 作品数：4 被引量：9H指数：2
- 供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金中国科学院知识创新工程更多>>
- 相关领域：电子电信理学更多>>
- 采用(211)碲锌镉衬底制备碲镉汞液相外延薄膜被引量：2
- 2005年
- 文中对(211)晶向的CdZnTe衬底进行液相外延生长HgCdTe.获得的碲镉汞液相外延材料的组分为0.30～0.33,薄膜厚度为10～15μm,表面缺陷密度为500cm-2,材料的FWHM达到24弧秒,位错腐蚀坑密度约为2×105cm-2,该材料的表面形貌与采用(111)晶向衬底的HgCdTe外延材料有较大区别.
- 徐庆庆陈新强魏彦锋曹妩媚赵守仁杨建荣
- 关键词：液相外延
- HgCdTe组分异质结的生长与表征被引量：1
- 2008年
- 采用富碲水平推舟液相外延生长方式,在(111)晶向的碲锌镉衬底上生长了双层组分异质HgCdTe外延薄膜,并对生长后的薄膜质量进行了评价.使用染色法和红外透射光谱数值拟合的方法,对两层薄膜的厚度进行了表征,并建立了一个双层薄膜纵向组分分布模型;对材料的电学参数进行测量的结果显示,双层异质液相外延样品中长波层的载流子迁移率较之单层液相外延样品略高,原因可能是中波覆盖层对长波外延层起到了钝化作用.
- 焦翠灵徐庆庆赵守仁孙士文方维政魏彦锋
- 关键词：HGCDTE液相外延
- HgCdTe/CdZnTe晶格失配与X光衍射貌相的关系研究被引量：6
- 2007年
- 文章采用富Te水平推舟液相外延工艺在CdZnTe衬底上生长了HgCdTe外延薄膜。研究了外延薄膜／衬底晶格失配度、X光衍射貌相、红外焦平面器件探测率三者之间的关系。对于HgCdTe外延层的X光衍射貌相我们将其大致分为五类，分别是Crosshatch貌相、混合貌相、均匀背景貌相、Mosaic貌相以及由衬底质量问题引起的沟壑状貌相，采用Crosshatch貌相和混合貌相材料所制备的红外焦平面器件，平均来说其探测率（D^＊）较高。X射线双轴衍射的实验结果表明，当外延层与衬底的晶格失配度为～0．03％时，外延层会呈现明显的Crosshatch貌相；而当失配度减小时，会逐渐呈现出混合貌相、均匀背景貌相、直至失配度为负值时呈现Mosaic貌相。因此，对于特定截止波长的HgCdTe焦平面器件，可以通过控制HgCdTe／CdZnTe之间的失配，生长出符合我们要求的貌相的碲镉汞外延材料，从而来提高焦平面器件的性能。
- 焦翠灵赵守仁陈新强魏彦锋
- 关键词：HGCDTE晶格失配探测率
- HgCdTe/CdZnTe晶格失配与X光衍射貌相的关系研究
- 本文采用富Te水平推舟液相外延工艺在CdZnTe衬底上生长了HgCdTe外延薄膜，研究了外延薄膜/衬底晶格失配度、X光衍射貌相、红外焦平面器件探测率三者之间的关系。对于HgCdTe外延层的X光衍射貌相我们将其大致分为五类...
- 焦翠灵赵守仁陈新强魏彦锋
- 关键词：红外材料焦平面器件碲镉汞薄膜液相外延晶格失配
- 文献传递
