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李文

作品数：1 被引量：0H指数：0
供职机构：信息产业部更多>>
相关领域：电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 1篇国内会议论文

领域

  • 1篇电子电信

主题

  • 1篇外延片
  • 1篇硅

机构

  • 1篇信息产业部

作者

  • 1篇冯建
  • 1篇陈洪波
  • 1篇李智囊
  • 1篇毛儒炎
  • 1篇李文

传媒

  • 1篇第十二届全国...

年份

  • 1篇2001
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
多层硅外延生长技术研究
本文介绍了高压大电流晶体管电路外延片制备的主要技术关键,及控制杂质浓度分布、晶格结构完整性、电参数及厚度均匀性、重复性等工艺流程.它所提供的外延片已成功地应用于3、4英寸电路的生产中.
李智囊毛儒炎冯建陈洪波李文
关键词：硅外延片
文献传递
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共1页<1>
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