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王铁刚

作品数：5 被引量：0H指数：0
供职机构：河北普兴电子科技股份有限公司更多>>
相关领域：文化科学自动化与计算机技术电子电信更多>>

合作作者

文献类型

  • 4篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 3篇文化科学
  • 1篇电子电信
  • 1篇自动化与计算...

主题

  • 3篇外延片
  • 3篇衬底
  • 2篇电阻率
  • 2篇多晶
  • 2篇封层
  • 2篇汞
  • 1篇电路
  • 1篇调平
  • 1篇调平机构
  • 1篇石墨
  • 1篇球头
  • 1篇肖特基
  • 1篇冷却装置
  • 1篇接杆
  • 1篇进水口
  • 1篇控制研究
  • 1篇冷却介质
  • 1篇机械手
  • 1篇集成电路
  • 1篇硅外延

机构

  • 5篇河北普兴电子...

作者

  • 5篇王铁刚
  • 2篇薛宏伟
  • 2篇张志勤
  • 2篇张佳磊
  • 2篇张志坡
  • 1篇高国智

传媒

  • 1篇科技传播

年份

  • 1篇2024
  • 1篇2023
  • 1篇2020
  • 1篇2017
  • 1篇2016
共 5 条 记 录，以下是 1-5
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排序方式：
基于超级背封衬底的外延片电阻率的测量方法
本发明公开了一种基于超级背封衬底的外延片电阻率的测量方法，涉及半导体技术领域。该方法包括以下步骤：对基于超级背封衬底的外延片的多晶背封层进行处理，露出二氧化硅背封层，所述处理的位置包含测量位置；将处理后的所述外延片在纯水...
张佳磊薛宏伟张志勤王铁刚
衬底传输腔机械手冷却装置和衬底传输腔机械手
本实用新型提供了一种衬底传输腔机械手冷却装置和衬底传输腔机械手，所述衬底传输腔机械手冷却装置包括两个冷却半环和安装组件，两个冷却半环呈对称设置，组成冷却环；每个冷却半环内部均设有导流槽，且均设有进水口和出水口，导流槽内适...
贾军朋王铁刚张志坡冯聚坤
基于超级背封衬底的外延片电阻率的测量方法
本发明公开了一种基于超级背封衬底的外延片电阻率的测量方法，涉及半导体技术领域。该方法包括以下步骤：对基于超级背封衬底的外延片的多晶背封层进行处理，露出二氧化硅背封层，所述处理的位置包含测量位置；将处理后的所述外延片在纯水...
张佳磊薛宏伟张志勤王铁刚
文献传递
CVD外延设备石墨基座坐标及倾角调节装置及调节方法
本发明提供了一种CVD外延设备石墨基座坐标及倾角调节装置及调节方法，属于半导体集成电路技术领域，包括工艺腔室、石墨基座、柔性连接机构以及调平机构，柔性连接机构包括锁紧螺柱、上连接法兰、球头铰接杆、球形法兰座和柔性密封管；...
贾军朋王铁刚冯聚坤张志坡
肖特基二极管用硅外延片过渡区控制研究
2016年
肖特基二极管是一种低功耗、超高速半导体器件,具有正向压降小、开关频率高等特点,高性能的肖特基二极管器件需要高质量的外延材料,生长出高质量的外延层成了制作高频肖特基二极管的关键。
侯志义高国智王铁刚
关键词：肖特基
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