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张志坡

作品数：4 被引量：2H指数：1
供职机构：河北普兴电子科技股份有限公司更多>>
相关领域：自动化与计算机技术建筑科学文化科学更多>>

合作作者

文献类型

  • 3篇专利
  • 1篇期刊文章

领域

  • 2篇自动化与计算...
  • 1篇建筑科学
  • 1篇文化科学

主题

  • 1篇底板
  • 1篇电路
  • 1篇调平
  • 1篇调平机构
  • 1篇一体化
  • 1篇石墨
  • 1篇竖直
  • 1篇水平度
  • 1篇球头
  • 1篇冷却装置
  • 1篇接杆
  • 1篇进水口
  • 1篇控制器
  • 1篇冷却介质
  • 1篇机电
  • 1篇机电一体
  • 1篇机电一体化
  • 1篇机电一体化技...
  • 1篇机械手
  • 1篇集成电路

机构

  • 4篇河北普兴电子...

作者

  • 4篇张志坡
  • 2篇王铁刚
  • 1篇袁肇耿
  • 1篇薛宏伟
  • 1篇王刚

传媒

  • 1篇科技风

年份

  • 1篇2024
  • 2篇2023
  • 1篇2017
共 4 条 记 录，以下是 1-4
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排序方式：
衬底传输腔机械手冷却装置和衬底传输腔机械手
本实用新型提供了一种衬底传输腔机械手冷却装置和衬底传输腔机械手，所述衬底传输腔机械手冷却装置包括两个冷却半环和安装组件，两个冷却半环呈对称设置，组成冷却环；每个冷却半环内部均设有导流槽，且均设有进水口和出水口，导流槽内适...
贾军朋王铁刚张志坡冯聚坤
工程机械中机电一体化技术的有效使用被引量：2
2017年
科学技术的不断进步,促使机电一体化技术也取得了比较卓越的成绩,传统的电气化为主导的生产方式已经不能满足行业发展的需求,越来越多的行业中都离不开机电一体化。工程机械中的机电一体化不但提高了工程机械的生产质量,也提高了机械的运行效率,大大提升了企业的经济效益。文章简述了机电一体化在工程机械中的实际应用,并论述了机电一体化未来的发展方向,为其发展提供参考。
张志坡许斌武
关键词：工程机械机电一体化
一种测量外延设备中基座水平度装置
本申请提供一种测量外延设备中基座水平度装置。该装置包括安装底座、第一条形支架、第二支架、第三条形支架、测距传感器和控制器；安装底座安在外延设备的铁质底板上，第一条形支架安于安装底座上，平行第一平面，第一平面为安装底座上表...
周晓辉薛宏伟袁肇耿王刚张志坡冯聚坤王凯达
CVD外延设备石墨基座坐标及倾角调节装置及调节方法
本发明提供了一种CVD外延设备石墨基座坐标及倾角调节装置及调节方法，属于半导体集成电路技术领域，包括工艺腔室、石墨基座、柔性连接机构以及调平机构，柔性连接机构包括锁紧螺柱、上连接法兰、球头铰接杆、球形法兰座和柔性密封管；...
贾军朋王铁刚冯聚坤张志坡
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