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张琪

作品数：53 被引量：2H指数：1
供职机构：西安交通大学更多>>
相关领域：自动化与计算机技术电气工程医药卫生金属学及工艺更多>>

合作作者

文献类型

  • 43篇专利
  • 6篇学位论文
  • 2篇期刊文章
  • 2篇会议论文

领域

  • 13篇自动化与计算...
  • 4篇电气工程
  • 3篇医药卫生
  • 2篇金属学及工艺
  • 1篇机械工程
  • 1篇建筑科学
  • 1篇轻工技术与工...
  • 1篇一般工业技术

主题

  • 15篇感器
  • 15篇传感
  • 15篇传感器
  • 6篇石英音叉
  • 6篇芯片
  • 5篇电极
  • 5篇硼玻璃
  • 5篇基底
  • 5篇非晶
  • 4篇电桥
  • 4篇信号
  • 4篇输出性能
  • 4篇频率差
  • 4篇切削力
  • 4篇微尺度
  • 4篇量程
  • 4篇敏感元件
  • 4篇绝缘
  • 4篇溅射
  • 4篇爆轰

机构

  • 53篇西安交通大学

作者

  • 53篇张琪
  • 38篇赵玉龙
  • 24篇赵友
  • 9篇李村
  • 8篇李波
  • 8篇韩超
  • 7篇马鑫
  • 6篇韦学勇
  • 6篇张国栋
  • 6篇任炜
  • 4篇王鹏
  • 4篇李慧
  • 2篇孙培伟
  • 2篇白晓川
  • 2篇吴健
  • 2篇张源斌
  • 2篇罗勇芬
  • 2篇韦亚平
  • 2篇刘百灵
  • 2篇席保峰

传媒

  • 1篇中国临床研究
  • 1篇中文科技期刊...
  • 1篇第三次全国电...

年份

  • 2篇2023
  • 4篇2022
  • 3篇2021
  • 8篇2020
  • 9篇2019
  • 8篇2018
  • 7篇2017
  • 1篇2016
  • 1篇2013
  • 1篇2012
  • 1篇2011
  • 1篇2009
  • 1篇2008
  • 1篇2006
  • 2篇2005
  • 1篇1996
  • 1篇1986
  • 1篇1984
共 53 条 记 录，以下是 1-10
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排序方式：
一种基于3D打印技术的柔性压力传感器芯片及其制作方法
一种基于3D打印技术的柔性压力传感器芯片及其制作方法，芯片包括柔性上极板，柔性上极板和均匀分布微型金字塔阵列的柔性下极板相接触，在柔性上、下极板接触表面制作柔性薄膜电极，柔性上、下极板上的柔性薄膜电极分别通过导线与外部电...
赵玉龙邵一苇刘明杰张琪赵友刘传奇
一种DLC优化结构的加速度传感器芯片及其制备方法
本发明属于微机电系统传感器技术领域，公开了一种DLC优化结构的加速度传感器芯片及其制备方法；其中，所述压阻式加速度传感器芯片中，SOI基片通过基片框架键合于硼玻璃上，中心质量块通过呈十字形布置的四个内嵌式微梁与基片框架连...
张琪毕文哲庞星梁晓雅秦伟林赵玉龙
带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片
一种带有柔性放大机构的基于SOQ石英振梁加速度计芯片，包括键合的石英结构和硅结构；石英结构包括石英框架、石英音叉、连接杆、杠杆、铰链、质量块、输入端和刻蚀间隙组成的平面内差动石英振梁芯片结构；硅结构包括硅框架，硅框架内设...
赵玉龙韩超李村李波张琪赵友
文献传递
一种悬浮式阵列孔石墨烯MEMS微压传感器芯片及其制备方法
本发明公开了一种悬浮式阵列孔石墨烯MEMS微压传感器芯片及其制备方法，包括：硅质基底，硅质基底设置有背腔；硅质基底的上表面依次设置有上层二氧化硅薄膜层和上层氮化硅薄膜层；硅质基底的下表面依次设置有下层二氧化硅薄膜层和下层...
赵玉龙张栋梁张琪马鑫庞星同笑珊刘明杰刘元邵一苇
文献传递
一种基于二硫化钼薄膜的加速度传感器芯片及其加工方法
一种基于二硫化钼薄膜的加速度传感器芯片及其加工方法，芯片包括和硼玻璃键合的硅基底，硅基底包括质量块以及与质量块相连的四个悬臂梁，在悬臂梁靠近质量块的一端沉积有二硫化钼薄膜电阻，金属引线将四个二硫化钼薄膜电阻连接成惠斯通全...
赵玉龙同笑珊张琪马鑫
文献传递
一种宽频带切削力测量装置
一种宽频带切削力测量装置，包括刀柄前端的刀垫，刀垫中嵌入有三轴振动加速度传感器，刀柄前端粘贴有由电阻应变片连接组成的惠斯通测量电桥，三轴振动加速度传感器、惠斯通测量电桥的输出端和切削力信号预处理与采集设备的输入端连接，切...
赵友赵玉龙张琪梁松博王鹏葛晓慧胡腾江邵一苇孙登强
一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置
一种基于锰铜合金微纳敏感单元的切削力测量装置，在刀片和刀垫之间设有切削力测量单元，切削力测量单元的形状、尺寸与刀片、刀垫匹配，切削力测量单元为三明治结构，分别为上、下氧化铝绝缘层和中间器件层，中间器件层的内部集成有基于锰...
赵友赵玉龙葛晓慧李莹雪张琪李村刘明杰赵云
文献传递
电力系统多通道瞬态波形过电压在线检测方法及其装置
本发明提供一种电力系统多通道瞬态波形过电压在线检测装置，由高压分压器、信号调理单元、采集单元、工控机(包括液晶显示器及键盘鼠标)，以及应用软件构成。本发明从各相高压母线的不同检测点上分别引入电压信号，经高压分压器电容分压...
徐阳韦亚平张琪曹晓珑席保峰
文献传递
一种基于3D打印的接触式位移传感器结构及其制作方法
一种基于3D打印的接触式位移传感器结构及其制作方法，接触式位移传感器结构包括基底结构，基底结构的一端设有第二固定孔，另一端设有导向孔，基底结构上方连接有悬臂梁结构，基底结构的第二固定孔和悬臂梁结构末端的第一固定孔对齐，悬...
赵玉龙刘明杰邵一苇赵友张琪刘传奇
文献传递
P2X受体参与痛觉外周敏化形成的作用及其机制
张琪
关键词：神经痛神经系统疾病电生理学外周神经系统
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